[发明专利]监测装置和方法

权利要求书

1.一种监测装置，用以监测待测样品，其特征在于，包括：

光源，用于发射探测光束；

旋转台，用于放置所述待测样品，其中，在所述旋转台的至少一个旋转周期内，所述待测样品被所述探测光束照射；

导光器，设置在所述待测样品和所述光源之间，用于导引所述探测光束在所述待测样品上产生的反射光束；

光接收器，用于接收所述导光器反射的所述待测样品在所述探测光束照射下的反射光束；

处理器，连接所述光接收器，用于接收所述反射光束，并根据所述反射光束确定所述待测样品的当前状态。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测光束包括：第一光束和第二光束，所述第一光束与所述第二光束相互平行。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述光源包括：

激光器，用于发出光源光束；

分束器，连接所述激光器，用于将所述光源光束分束为所述第一光束与所述第二光束。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：

反应腔，具有窗口，并设置在所述旋转台上，用以放置所述待测样品，以及使所述待测样品在所述反应腔内进行制程反应；

其中，所述第一光束与所述第二光束通过所述窗口入射至所述反应腔内，并照射在所述待测样品上。

5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述光接收器用于接收所述待测样品在所述第一光束与所述第二光束照射下，分别产生的第一反射光束和第二反射光束。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述处理器用于接收所述第一反射光束和所述第二反射光束，并根据所述第一反射光束和所述第二反射光束的间距计算所述待测样品的翘曲程度分布。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括：

所述导光器用于将所述第一反射光束和所述第二反射光束导射在所述光接收器的探测面上，以使所述光接收器接收到所述第一反射光束和所述第二反射光束。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述导光器为平面镜，所述平面镜的镜面朝向所述待测样品。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

驱动器，连接所述旋转台，用于驱动所述旋转台转动。

10.一种监测方法，其特征在于，包括：

将待测样品放置在旋转台上的反应腔内，以使所述待测样品在所述反应腔内进行相应的制程反应；

采用相互平行的第一光束与第二光束照射在所述待测样品上；

采用导光器将第一反射光束和第二反射光束导射在光接收器的探测面上，以使所述光接收器接收到所述第一反射光束和所述第二反射光束，其中所述第一反射光束和所述第二反射光束，是所述待测样品在所述第一光束与所述第二光束照射下产生的；

接收所述第一反射光束和所述第二反射光束；

根据所述第一反射光束和所述第二反射光束的间距计算所述待测样品的翘曲程度分布。