[发明专利]运送系统以及运送控制方法

说明书

本发明提供一种运送系统以及运送控制方法，能够以简单的构成高精度地进行支承基板的手的位置的校准。运送系统(2)包括：手(30)，支承作为运送对象的工件(W)；臂(40)，使手(30)移动；扫描控制部(113)，通过臂(40)使手(30)沿与边(33a)和边(33b)交叉的扫描方向移动，以使被固定于手(30)的彼此不平行的边(33a)和边(33b)通过工件(W)的运送路径中的已知的基准位置(RP)；以及位置检测部(114)，基于当扫描控制部(113)使手(30)移动时边(33a)到达基准位置(RP)的定时以及边(33b)到达基准位置(RP)的定时来检测在与扫描方向交叉的方向上的手(30)的位置偏移。

技术领域

本公开涉及运送系统以及运送控制方法。

背景技术

在专利文献1中，公开了以下方法：代替晶片而将与实物晶片相同尺寸的教示夹具配置在处理装置等，通过设置于机器人的末端执行器的传感器检测该教示夹具的位置，在机器人中教示位置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005-123261号公报。

发明内容

本公开的目的在于提供以简单的构成高精度地对支承基板的手的位置进行校准的有效的运送系统。

本公开的一个方面涉及的运送系统包括：手，支承作为运送对象的基板；臂，使所述手移动；扫描控制部，使手通过臂沿与第一线和第二线交叉的扫描方向移动，以使被固定于手的彼此不平行的第一线和第二线通过基板的运送路径中的已知的基准位置；以及位置检测部，基于当扫描控制部使手移动时第一线到达基准位置的定时以及第二线到达基准位置的定时来检测在与扫描方向交叉的方向上的手的位置偏移。

本公开的其他方面涉及的运送控制方法包括：使支承作为运送对象的基板的手通过臂沿与第一线和第二线交叉的扫描方向移动，以使被固定于手的彼此不平行的第一线和第二线通过基板的运送路径中的已知的基准位置；以及基于当手沿扫描方向移动时第一线到达基准位置的定时以及第二线到达基准位置的定时，来检测在与扫描方向交叉的方向上的手的位置偏移。

根据本公开，能够提供以简单的构成高精度地对支承基板的手的位置进行校准的有效的运送系统。

附图说明

图1是示出基板处理系统的简略构成的示意图；

图2是处理站的运入口的示意图；

图3是例示指标部的放大图；

图4是例示控制器的功能性的构成的框图；

图5是例示控制器的硬件构成的框图；

图6是例示校准步骤的流程图；

图7是例示基台的倾斜检测步骤的流程图；

图8是示出到达位置的坐标与基台的倾斜的关系的示意图；

图9是例示手的位置偏移检测步骤的流程图；

图10是例示第一扫描控制的步骤的流程图；

图11是例示第二扫描控制的步骤的流程图；

图12是例示第一扫描控制和第二扫描控制中的手的运动的示意图；

图13是例示手的位置偏移计算步骤的流程图；

图14是例示手的倾斜与修正前后的移动行程的关系的示意图；

图15是例示移动行程与手的位置偏移的关系的示意图；

图16是例示基于交叉扫描控制的手的位置偏移检测步骤的流程图；

图17是例示第三扫描控制的步骤的流程图；