[发明专利]一种具有动密封的导入机构及其使用方法

说明书

本发明公开一种具有动密封的导入机构及其使用方法。所述具有动密封的导入机构，包括：主轴，跨越设置在第一真空区域和第二真空区域内，并在第一真空区域和第二真空区域之间形成间隔真空区域，且第一真空区域、间隔真空区域、第二真空区域之真空度呈逐级提升；聚四氟乙烯密封机构，呈环形套设在主轴之外侧，并位于第一真空区域和间隔真空区域之间；橡胶密封机构，呈环形套设在主轴之外侧，并位于间隔真空区域与第二真空区域之间。本发明采用聚四氟乙烯密封机构和橡胶密封机构之组合结构，不仅有效的抵御较高的压差，达到较长的使用寿命，而且明显的降低漏率，减少对工艺的影响，最终实现使用寿命长、漏率低之具有动密封的导入机构。

技术领域

本发明涉及溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种具有动密封的导入机构及其使用方法。

背景技术

在真空或者压力设备中，如果设备腔体的内部需要有机械动作，如转动或者移动等，就需要对应的安装动作发起零部件（如电机，气缸等）。然而，绝大多数动作发起零部件不适合置于设备腔体内，所以需要有传动导入机构。因传动导入机构的传动轴需要转动或移动，所以需要对传动轴和腔体之间经行密封防泄漏处理。

通常地，所述传动导入机构之密封防泄漏处理方式中，其密封方式主要为，第一、所述传动轴与所述腔体之间采用软质材料密封。但是，软质材料密封，因为其耐磨性较差，需专门设计润滑系统。如润滑系统未能有效工作，则其摩擦系数过大，极大的缩短所述密封系统的使用寿命。第二、所述传动轴与所述腔体之间采用硬质材料密封。众所周知地，采用硬质材料密封，其成本较高，密封设计复杂，装配失效率偏高，极易造成返工作业。明显地，对真空度要求较高的镀膜工艺采用上述密封方式短期内便会形成泄漏，导致腔体真空度欠佳，影响产品镀膜质量，缩短生产周期。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种具有动密封的导入机构。

发明内容

本发明是针对现有技术中，目前的动密封存在耐磨性较差，需专门设计润滑系统，或者成本较高，密封设计复杂，装配失效率偏高，极易造成返工作业等缺陷，提供一种具有动密封的导入机构。

本发明之又一目的是针对现有技术中，目前的动密封存在耐磨性较差，需专门设计润滑系统，或者成本较高，密封设计复杂，装配失效率偏高，极易造成返工作业等缺陷，提供一种具有动密封的导入机构的使用方法。

为实现本发明之第一目的，本发明提供一种具有动密封的导入机构，所述具有动密封的导入机构，包括：

主轴，跨越设置在第一真空区域和第二真空区域内，并在所述第一真空区域和所述第二真空区域之间形成间隔真空区域，所述主轴用于腔体内元器件机械动作之动力输出，且所述第一真空区域、所述间隔真空区域、所述第二真空区域之真空度呈逐级提升；

所述第一真空区域的真空度低于所述第二真空区域的真空度；

聚四氟乙烯密封机构，呈环形套设在所述主轴之外侧，并位于所述第一真空区域和所述间隔真空区域之间；

橡胶密封机构，呈环形套设在所述主轴之外侧，并位于所述间隔真空区域与所述第二真空区域之间。

可选地，所述第一真空区域之气压为10²~10⁵Pa，所述间隔真空区域之气压为10⁰~10^-2Pa，所述第二真空区域之气压为10^-4~10^-9Pa。

可选地，所述聚四氟乙烯密封机构之与所述主轴接触的一侧呈倒锥形或者倒梯形。

可选地，所述橡胶密封机构为氟橡胶或者丁腈橡胶的其中之一。

可选地，所述橡胶密封机构之与所述主轴接触的一侧呈倒锥形或者倒梯。

可选地，所述具有动密封的导入机构，进一步包括：