[发明专利]一种具有动密封的导入机构及其使用方法

权利要求书

1.一种具有动密封的导入机构的使用方法，该具有动密封的导入机构包括：主轴，跨越设置在第一真空区域和第二真空区域内，并在所述第一真空区域和所述第二真空区域之间形成间隔真空区域，所述主轴用于腔体内元器件机械动作之动力输出，其特征在于，所述第一真空区域、所述间隔真空区域、所述第二真空区域之真空度呈逐级提升；

聚四氟乙烯密封机构，呈环形套设在所述主轴之外侧，并位于所述第一真空区域和所述间隔真空区域之间；

橡胶密封机构，呈环形套设在所述主轴之外侧，并位于所述间隔真空区域与所述第二真空区域之间；

所述具有动密封的导入机构，进一步包括：

中缝泵抽单元，通过抽气孔与所述间隔真空区域连通；

该使用方法，包括，

执行步骤S1，当所述聚四氟乙烯密封机构出现密封异常时，所述中缝泵抽单元将所述间隔真空区域的真空度抽致工艺目标值，所述腔体内的真空度通过所述橡胶密封机构维持；

执行步骤S2，当所述橡胶密封机构出现密封异常时，关闭所述中缝泵抽单元，所述腔体内的真空度通过所述聚四氟乙烯密封机构维持。

2.如权利要求1所述具有动密封的导入机构的使用方法，其特征在于，所述第一真空区域之气压为10²~10⁵Pa，所述间隔真空区域之气压为10⁰~10^-2Pa，所述第二真空区域之气压为10^-4~10^-9Pa。

3.如权利要求1所述具有动密封的导入机构的使用方法，其特征在于，所述聚四氟乙烯密封机构与所述主轴接触的一侧呈倒锥形或者倒梯形。

4.如权利要求1所述具有动密封的导入机构的使用方法，其特征在于，所述橡胶密封机构为氟橡胶或者丁腈橡胶的其中之一。

5.如权利要求4所述具有动密封的导入机构的使用方法，其特征在于，所述橡胶密封机构与所述主轴接触的一侧呈倒锥形或者倒梯形。