[发明专利]利用热丝增强等离子体磁控溅射法制备铁磁非晶膜的方法在审
| 申请号： | 201910942636.0 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110527969A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈雪娇;周艳文;李金龙;赵卓;郭媛媛;张开策;滕越;张晶;杨永杰;黄振;方方;张豫坤 | 申请（专利权）人： | 辽宁科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 21224 鞍山嘉讯科技专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐喆<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 114051 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氩气 镀膜 铁磁 等离子体 磁控溅射设备 磁控溅射 基体表面 体内 非晶膜 灯丝 腔体 热丝 清洗 磁控溅射技术 等离子体增强 挡板 离子轰击 抽真空 结合力 矩形靶 水蒸汽 致密性 氩离子 靶材 薄带 非晶 活化 溅射 离化 膜层 膜基 四壁 制备 薄膜 轰击 加热 缠绕 应用 | ||
【权利要求书】：
1.利用热丝增强等离子体磁控溅射法制备铁磁非晶膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)镀膜前准备试样：
选取基体材料，清洗；
2)镀膜前清洗：
将基体置于等离子体增强磁控溅射设备的腔体内，抽真空；加热除水蒸汽，开1～4根灯丝，灯丝预热15～30分钟，-50～-200V低偏压清洗10～40min，-200～-400V高偏压清洗10～40min；靶电流调至1～10A，清洗靶10～40min；
3)镀膜：
热丝增强等离子体磁控溅射设备的腔体四周缠绕4根灯丝，灯丝为钨丝，腔体四壁分别设置矩形靶材，其中一块以上靶材为非晶铁磁薄带；清洗完成后，基体直流偏压调节到-50～-100V，向腔体内通入氩气，氩气流量100～200sccm，腔体内压强控制在0.5～5.0Pa之间；调节灯丝电流为1～10A，靶电流为1～10A，打开挡板，开始溅射。
2.根据权利要求1所述的利用热丝增强等离子体磁控溅射法制备铁磁非晶膜的方法，其特征在于，镀膜时腔体内的温度为25℃～100℃。
3.根据权利要求1所述的利用热丝增强等离子体磁控溅射法制备铁磁非晶膜的方法，其特征在于，用与靶材平行悬挂的薄钢板作为基体背板，将清洗好的基体悬挂在薄钢板的正面，在薄钢板的背面安装带有气孔的气管，气孔与基体相对，气管内通氦气，用于冷却基体。
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