[发明专利]金属遮罩有效
申请号: | 201910921680.3 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN112575286B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 李仲仁;赖元章;萧育展;卢世宗 | 申请(专利权)人: | 旭晖应用材料股份有限公司;全洋(黄石)材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 刘金凤;赵燕力 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 | ||
1.一种金属遮罩,其包括一薄形的金属板材,该金属板材的相对两侧分别为沉积材迎接侧与基材迎接侧,且该金属板材包括至少一镀膜孔和对应连通所述镀膜孔的凹槽,其特征在于:
所述镀膜孔自该金属板材的该沉积材迎接侧朝该基材迎接侧方向延伸,且所述镀膜孔的孔径自该沉积材迎接侧朝该基材迎接侧方向尺寸递减;
所述凹槽形成于该金属板材的基材迎接侧,且所述凹槽的槽底面设有朝该沉积材迎接侧方向延伸且连通所述镀膜孔的钝化孔,所述钝化孔与所述镀膜孔之间的连接部位形成预设形状的镀膜孔位,且所述钝化孔的孔径自该槽底面朝该镀膜孔方向尺寸递减,通过相异方向倾斜的所述镀膜孔与所述钝化孔结合而形成该镀膜孔位;
所述凹槽的外周缘与所镀膜孔的孔缘之间的宽度小于或等于0.5~5倍的金属板材的板厚,所述凹槽的深度小于或等于5μm~15μm,且所述凹槽的深度的最大值小于或等于该金属板材的板厚的二分之一。
2.根据权利要求1所述的金属遮罩,其特征在于,该金属板材的板厚为15μm~300μm,所述镀膜孔的斜向的孔壁与该沉积材迎接侧的斜角小于或等于55度,所述钝化孔的深度小于或等于15μm。
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