[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括：

用于承载铸锭硅料的坩埚；

用于支撑坩埚的DS块；

可拆卸地设于所述DS块背离所述坩埚底部的表面，用于调节所述坩埚底部热场分布的保温块和散热块；

其中，所述保温块和所述散热块在所述DS块表面分布位置可调。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述散热块为石墨块。

3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述散热块长为5cm～30cm，宽为5cm～30cm，厚度为1.5cm～6cm；且设置在所述DS块上的多个散热块的厚度不完全相同。

4.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述散热块背离所述DS块的表面分布有多条相互交错的凹槽，所述凹槽的宽度为4mm～20mm，深度为5mm～40mm。

5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述保温块包括碳纤维板和设于两个所述碳纤维板之间的碳纤维毡。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述保温块长为5cm～30cm，宽为5cm～30cm，厚度为3cm～20cm；且设置在所述DS块上的多个保温块的厚度不完全相同。

7.如权利要求1至6任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述DS块上设置有螺栓孔阵列；所述保温块和所述散热块上设置和所述螺栓孔阵列中的螺栓孔相配合的螺孔。

8.如权利要求7所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述DS块为石墨块，长和宽均为1m～1.5m，厚度为5cm～20cm，所述螺栓孔的孔深2cm～5cm，直径6mm～14mm。

9.如权利要求1至6任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述保温块沿所述DS块边缘区域环形设置，所述散热块设于所述DS块中心区域。

10.如权利要求1至6任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述保温块设于所述DS块三个顶点区域，所述散热块设于所述DS块未设置所述保温块的顶点区域。