[发明专利]一种显示屏线路保护装置及方法有效
申请号: | 201910874116.0 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110592559B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 杜少牧 | 申请(专利权)人: | 淮北摩兰科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513;C23C16/458;C23C16/455;C23C16/26;C23C16/04 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
地址: | 235025 安徽省淮北市烈*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示屏 线路 保护装置 方法 | ||
本发明涉及一种显示屏线路保护装置,包括气相沉淀装置、管道、第一电极、线圈、第二电极、旋转机构、连接头、旋转辅助机构及第一驱动机构,所述气相沉淀装置中的中部贯穿设置有管道,所述管道与旋转机构通过连接头转动连接,所述连接头与旋转辅助机构的一端相连,所述气相沉淀装置侧壁上设置有与旋转辅助机构对称的第一驱动机构,所述气相沉淀装置的顶部、底部设置有第一电极和第二电极;本发明还公开了一种显示屏线路保护方法,本发明中可以产生两个方向完全相反的电场,两个金属板中的一个受到向下的力,而另一个金属板受到第二线圈产生向上的力,从而使通气管转动,使等离子扩散均匀,形成的薄膜厚度相一致。
技术领域
本发明涉及一种显示屏生产工艺,具体涉及一种显示屏线路保护装置及保护方法。
背景技术
显示屏是生活中常用的器材,无论是手机、电视等都要用到显示屏。显示屏当前使用金属线路作为导电基材,覆盖硅氮化物作为金属线路保护层,表面硬度与玻璃相当。
在显示屏生产过程中,经常需要用到气相沉积装置来获得薄膜,但是现有的气相沉积装置中,通过射频电源、电极等产生等离子,而等离子在不受外力的作用下,是无法均匀扩散至装置内部,与基板充分接触,这种生产装置是无法保证获得的薄膜厚度相一致,进而导致了得到的产品质量差等问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于如何解决现有气相沉积装置无法保证获得的薄膜厚度相一致,进而导致了得到的产品质量差等问题。
本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的:
一种显示屏线路保护装置,包括气相沉淀装置、管道、第一电极、线圈、第二电极、旋转机构、连接头、旋转辅助机构及第一驱动机构,所述气相沉淀装置中的中部贯穿设置有管道,所述管道与旋转机构通过连接头转动连接,所述旋转机构远离管道的一端与旋转辅助机构的一端相连,所述旋转辅助机构的另一端与气相沉淀装置的侧壁上设置有的凹槽滑动连接,所述气相沉淀装置侧壁上设置有与旋转辅助机构对称的第一驱动机构,旋转辅助机构与第一驱动机构配合辅助旋转机构转动,所述气相沉淀装置的顶部、底部设置有第一电极和第二电极,其中,
所述线圈包括第一线圈、第二线圈,第一线圈与第二线圈沿着气相沉淀装置侧面对角线设置并分别与第二电极、第一电极处于同一竖直平面,所述第一线圈与第二线圈分别与气相沉淀装置相连。
管道的一端与进气装置相连,另一端与尾气收集装置相连,利于保护环境,第一线圈、第二线圈能够外接电源,通过与电源相连,能够产生电场,而第一线圈、第二线圈的位置沿着气相沉淀装置侧面对角线设置并分别与第二电极、第一电极处于同一竖直面,可以产生两个方向完全相反的电场,同时配合旋转辅助机构与第一驱动机构,带动线圈转动,实现旋转机构内部的气体甩出,使气体扩散更佳均匀,而第二电极可以与外界射频电源相连,射频电源与第二电极相配合,在第二电极上加载射频信号,产生大量等离子体,并在电场的作用下,实现气相沉生成薄膜。
作为本发明进一步的方案:所述第一电极包括第一上电极板、第一下电极板,所述第一上电极板、第一下电极板上下对称设置;本实施例中,所述第一上电极板焊接设置于气相沉淀装置的后侧顶部,所述第一下电极板设置于第一上电极板的下方,同时第一上电极板的一侧面与气相沉淀装置的内壁焊接固定连接;所述第一下电极板与气相沉淀装置的底部之间放置有第二线圈;
所述第二电极包括第二上电极、第二下电极,所述第二上电极、第二下电极上下对称设置,所述第二下电极焊接设置于气相沉淀装置的底部内侧,所述第二上电极的一侧面与气相沉淀装置的内壁焊接,所述第二上电极与气相沉淀装置的顶部之间设置有第一线圈。
作为本发明进一步的方案:所述旋转机构包括通气管、通孔及金属板,所述通气管为两侧开放的空腔结构,所述通气管上开设有若干通孔,气体可以通过通孔散出,同时通气管上对称设置有若干金属板,所述金属板上设置轻质基板。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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