[发明专利]一种样品制备工艺方法

权利要求书

1.一种样品制备工艺方法，其特征在于，所述方法包括：

将具有表面缺陷的钢材进行切割，形成待测样品；

根据所述待测样品的尺寸对辅助钢材进行切割，形成辅助样品，所述辅助样品的厚度为1～2mm，所述辅助样品及所述待测样品的平直度保持一致；

利用双面铜导电胶将所述待测样品及所述辅助样品粘结，形成组合样品，所述双面铜导电胶与所述待测样品的待磨制边的距离为2～3mm；

对所述组合样品进行缠绕固定，缠绕固定后，所述待测样品与所述辅助样品之间的缝隙为0.05～0.15mm；

利用磨抛机对所述缠绕固定后的组合样品的待检测面进行打磨，磨制完成后，拆掉所述辅助样品；

对磨制后的所述待测样品进行超声波清洗、烘干；

对所述待测样品的待检测面进行清洁后，标记所述待检测面的缺陷。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述待测样品的尺寸对辅助样品进行切割，形成辅助样品后，包括：

利用200目的砂纸对所述辅助样品及所述待测样品的加工毛刺进行打磨。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述组合试样进行缠绕固定，包括：

利用透明胶带对所述组合试样进行缠绕固定。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用磨抛机对所述缠绕固定后的所述组合样品的待检测面进行打磨，包括：

利用所述磨抛机对所述组合样品的待检测面进行一次粗磨，一次粗磨过程的磨制参数包括：磨制转速为700～900r/min，磨制力为5～35N，磨制时间为15～30s，砂纸的目数为200目；

对一次粗磨后的待检测面进行二次粗磨，二次粗磨过程的磨制参数包括：磨制转速为700～900r/min，磨制力为5～35N，磨制时间为15～30s，砂纸的目数为600目；

对二次粗磨后的待检测面进行一次精磨，一次精磨过程的磨制参数包括：磨制转速为700～900r/min，磨制力为5～35N，磨制时间为15～30s，砂纸的目数为1000目；

对一次精磨后的待检测面进行二次精磨，二次精磨过程的磨制参数包括：磨制转速为700～900r/min，磨制力为5～35N，磨制时间为15～30s，砂纸的目数为1200目；

利用0.7μm.的金刚石悬浮液对二次精磨后的待检测面进行一次精抛，一次精抛过程的抛光参数包括：磨制转速为900～1400r/min，磨制力为5～35N，磨制时间为20～30s；

利用0.35μm的金刚石悬浮液对一次精抛后的待检测面进行二次精抛，二次精抛过程的抛光参数包括：磨制转速为900～1400r/min，磨制力为5～35N，磨制时间为20～30s；

利用去离子水对二次精抛后的所述待检测面进行水抛。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对磨制后的所述待测样品进行超声波清洗、烘干，包括：

利用浓度大于95％的工业酒精对磨制后的所述待测样品进行超声波清洗。清洗时间为10～15min；

利用30～40℃的流动温风对清洗后的所述待测样品进行吹扫，吹扫时间为5～10min。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述待测样品的待检测面进行清洁，包括：

利用清洁专用胶带粘掉所述待检测面的颗粒物；

利用压缩空气对放置在样品台上的所述待测样品进行吹拭。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述利用压缩空气对放置在样品台上的所述待测样品进行吹拭，包括：

控制压缩空气喷嘴距离所述待测样品至少10cm进行吹拭，吹拭参数包括：每次喷射2～3s，喷射次数为3～5次。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

利用200目的砂纸对所述待测样品的表面进行磨制，磨制后的表面粗糙度为0.8μm；所述待测样品的表面为所述待测样品与样品台接触的一面。