[发明专利]丙烯汽化器

说明书

本发明的课题在于防止原料液体的空化。在原料液体以被吹到汽化板(8)的方式流动的原料液体导入路(6)，配置有棒状的阻力体(7)，使原料液体导入路(6)相对于原料液体的导入率下降。由于液体质量流量控制器的出口侧的压力上升，与液体质量流量控制器的入口侧的压力的压力差变小，因而能够防止空化的发生。能够使阻力体(7)以多个构成。

技术领域

本发明涉及使丙烯树脂原料汽化的技术，尤其涉及使丙烯树脂原料的气体产生速度稳定的技术。

背景技术

作为含有具有容易因水分或氧等而劣化的性质的化合物的元件，已知例如有机EL(Electro Luminescence(电致发光))元件等。关于这样的元件，进行通过形成含有该化合物的层与覆盖该层的保护层的层叠构造而抑制水分等侵入到元件内的尝试。例如，在下述专利文献1中，记载了在上部电极层上具有由无机膜与有机膜的层叠膜构成的保护层的发光元件。

当形成丙烯树脂薄膜时，在丙烯汽化器使丙烯树脂的原料液体汽化而生成原料气体，供给至成膜对象物的表面而使其附着于该表面，加热而使丙烯树脂原料聚合，形成丙烯树脂膜。

为了使丙烯树脂薄膜的成膜速率稳定，有必要使原料气体的供给速度稳定，因此，在丙烯汽化器与原料罐之间设有液体质量流量控制器，使由液体质量流量控制器(MFC)进行流量控制的原料液体供给至丙烯汽化器。

然而，存在从液体质量流量控制器供给的丙烯树脂原料的量有时候瞬间地变动而在短时间的成膜等等的情况下成为问题的可能性。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-73880号公报。

发明内容

发明要解决的课题

在对从液体质量流量控制器供给至丙烯汽化器的液体的丙烯树脂原料进行观察，理解在丙烯树脂原料中发生由于压力差而导致的空化(cavitation)，确认从液体质量流量控制器供给的丙烯树脂原料的量瞬间地变动的原因在于空化。

关于空化，为了将原料液体从原料罐送出而使用的推压气体溶解于原料液体中被认为是一个原因，因而考虑将难溶性的气体用于推压气体。

另外，考虑在液体质量流量控制器与原料罐之间设有真空脱气装置而除去溶解于原料液体中的气体。

可是，这些对策为高价的，另外，由于管理的人工也增加而为不理想的。

本发明的课题在于，提供在从液体质量流量控制器供给的液体的丙烯树脂原料未使空化发生的便宜并且可靠的技术。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，本发明是一种丙烯汽化器，其具有：原料液体导入路，由液体质量流量控制器进行流量控制的丙烯树脂膜的原料液体流动于原料液体导入路；喷出口，流动至前述原料液体导入路的前述原料液体到达喷出口；载气导入路，其将载气供给至前述喷出口；密闭容器，其具有前述原料液体的微量液滴(小液滴的原料液体)和前述载气从前述喷出口喷出的内部空间；汽化板，其配置于前述内部空间，前述原料液体的微量液滴接触汽化板；加热装置，其对前述汽化板进行加热；以及原料气体供给配管，作为前述微量液滴与由前述加热装置进行前述加热后的前述汽化板接触而生成的前述原料液体的气体的原料气体流动于原料气体供给配管，通过在前述原料液体导入路配置有棒状的阻力体，使前述原料液体流动至前述阻力体与前述原料液体导入路的壁面之间的间隙，从而前述原料液体导入路相对于前述原料液体的导入率下降。