[发明专利]丙烯汽化器

权利要求书

1.一种丙烯汽化器，具有：

原料液体导入路，由液体质量流量控制器进行流量控制的丙烯树脂膜的原料液体流动于所述原料液体导入路；

喷出口，流动至所述原料液体导入路的所述原料液体到达所述喷出口；

载气导入路，其将载气供给至所述喷出口；

密闭容器，其具有所述原料液体的微量液滴和所述载气从所述喷出口喷出的内部空间；

汽化板，其配置于所述内部空间，所述原料液体的微量液滴接触所述汽化板；

加热装置，其对所述汽化板进行加热；以及

原料气体供给配管，作为所述微量液滴与由所述加热装置进行所述加热后的所述汽化板接触而生成的所述原料液体的气体的原料气体流动于所述原料气体供给配管，

通过在所述原料液体导入路配置有棒状的阻力体，使所述原料液体流动至所述阻力体与所述原料液体导入路的壁面之间的间隙，从而所述原料液体导入路相对于所述原料液体的导入率下降。

2.根据权利要求1所述的丙烯汽化器，其特征在于，具有：

原料液体导入配管，其设于所述密闭容器；和

喷嘴装置，其设于所述密闭容器的所述内部空间侧的壁面，

在所述原料液体导入配管设置的第一液体导入孔、在所述密闭容器的顶板设置的第二液体导入孔、以及在所述喷嘴装置设置的第三液体导入孔连通而形成所述原料液体导入路，

所述阻力体配置于所述第一至第三液体导入孔的任一个或多个的内部。

3.根据权利要求2所述的丙烯汽化器，其特征在于，所述阻力体分割成两个以上。

4.根据权利要求2所述的丙烯汽化器，其特征在于，棒状的所述阻力体的外径比所述原料液体导入路的内径更小。

5.根据权利要求4所述的丙烯汽化器，其特征在于，所述阻力体配置于在所述原料液体导入路的内部设置的支撑部上。