[发明专利]一种光电探测器光敏面中心精确测量装置及方法

权利要求书

1.一种光电探测器光敏面中心精确测量装置，包括显微镜，其特征在于：还包括与显微镜配合使用的双竖轴组合检测装置，所述双竖轴组合检测装置包括从上至下依次连接的上竖轴盖（22）、竖轴套（21）和下竖轴座（20），所述上竖轴盖（22）、竖轴套（21）和下竖轴座（20）均同轴，所述竖轴套（21）用于安装待检测带环光电探测器部件（23）；

所述竖轴套（21）中心从上至下依次为上竖轴外圆（26）、自定心锥面（30）、容纳腔、下竖轴孔（29）和下竖轴承力端面一（28）；

所述上竖轴盖（22）为圆体结构，两端均开口，中心从上至下依次为自找正承力端面（12）和上竖轴孔（24），所述下竖轴座（20）包括从上至下依次设置的圆柱体、下竖轴承力端面二（32）和照准部端面（12），所述圆柱体的横截面为下竖轴外圆（31）。

2.根据权利要求1所述的一种光电探测器光敏面中心精确测量装置，其特征在于：所述上竖轴孔（24）与自找正承力端面二（25）的垂直度不大于0.002mm，上竖轴孔（24）的圆柱度不大于0.003mm，且表面粗糙度Ra0.1。

3.根据权利要求1所述的一种光电探测器光敏面中心精确测量装置，其特征在于：所述下竖轴孔（29）与下竖轴承力端面一（28）的垂直度小于0.002mm，所述下竖轴孔（29）圆柱度小于0.003mm，所述上竖轴外圆（26）和自定心锥面（30）均以下竖轴孔（29）和下竖轴承力端面一（28）为基准，且相对基准的同轴度小于0.001mm，所述上竖轴外圆（26）圆柱度小于0.003mm、间隙控制在0.002mm以内，各面表面粗糙度Ra0.1。

4.根据权利要求1所述的一种光电探测器光敏面中心精确测量装置，其特征在于：照准部端面二（33）平面度小于0.002mm，所述下竖轴外圆（31）与下竖轴承力端面二（32）均以照准部端面（12）为基准加工，下竖轴承力端面二（32）与照准部端面二（33）的平行度小于0.001mm，下竖轴外圆（31）与照准部端面二（33）的垂直度小于0.001mm，各面表面粗糙度Ra0.1。

5.一种光电探测器光敏面中心精确测量方法，使用权利要求1所述的光电探测器光敏中心精确测量装置，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1）将待检测带环光电探测器部件（23）进行修切，将光敏中心进行迭代转换，形成光学系统装调新的基准；

步骤2）将双竖轴组合检测装置中的下竖轴座（20）置于显微镜的圆盘上直接压紧固定，再调整工具显微镜目镜系统，将目镜十字分划线调整下竖轴座（20）的横截面中心上，调整好后，将修切后的待检测带环光电探测器部件（23）装在竖轴套（21）上，旋压上竖轴盖（22），实现自动确定中心和准确定位，形成固定式稳定竖轴；

步骤3）将竖轴套（21）装到下竖轴座（20）上，形成可旋转标准圆柱形竖轴，测量时旋转竖轴套（21），通过显微镜目镜找到带环光电探测器部件（23）的光敏面中心。

6.据权利要求5所述的一种光电探测器光敏面中心精确测量方法，其特征在于，步骤1）的具体过程如下：

在零件环的粘结容胶孔（6）中涂聚硫密封胶，后将零件环装配到光电探测器部件的检测基准（2）上，待聚硫密封胶固化后，得到带环光电探测器部件（23）；

以带环光电探测器部件（23）的制造基准（1）为基准，将带环光电探测器用夹具装在精密车床上进行修切，在相应部位加工出外圆尺寸（9）、基准锥面（10）、锥面角度（11）及端面（12），使光敏面中心测量的检测基准（2）迭代转换基准锥面（10）上，形成光学系统装调新的基准。

7.据权利要求5所述的一种光电探测器光敏面中心精确测量方法，其特征在于：修切时，夹具装到设备主轴上，以带环光电探测器部件（23）制造基准（1）为装夹部位，带环光电探测器部件（23）的基准端面（12）为修切辅助基准，再将夹具的校正外圆（34）调整到设备主轴回转中心，使跳动小于0.003mm进行修切加工。