[发明专利]一种高灵敏度MEMS压电式麦克风有效
| 申请号： | 201910799686.8 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110602616B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;胡博豪;吴志鹏;林炳辉;朱伟;王磊;周禹 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 吴艳姣 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 mems 压电 麦克风 | ||
1.一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，包括具有空腔的晶圆衬底和多个具有压电叠层结构的悬臂梁，所述悬臂梁包括固定端和悬置于空腔上方的自由端，特征在于：所述悬臂梁为一端窄另一端宽的结构，其中，较窄的一端为固定端；所述空腔的底面中心设置有固定柱，多个所述悬臂梁的固定端均连接在所述固定柱的顶面，相邻的所述悬臂梁之间均设置有间隙，且相邻悬臂梁的自由端均连接有能使悬臂梁同步振动的柔性弹性件，其中一个所述间隙内设置有用于引出所述悬臂梁电信号的连接段。
2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：所述悬臂梁呈梯形结构，其数量为四个，四个所述悬臂梁围成矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：所述悬臂梁呈梯形结构，其数量为六个，六个所述悬臂梁围成六边形结构。
4.根据权利要求2或3所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：所述晶圆衬底为SOI晶圆衬底，其顶面、固定柱的顶面和悬臂梁均制成单晶片的压电叠层结构，所述压电叠层结构从下至上依次为底电极、压电薄膜和顶电极。
5.根据权利要求4所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：所述连接段连接固定柱上的压电叠层结构与晶圆衬底上的压电叠层结构，所述晶圆衬底顶面的外侧分别设置有用于引出底电极电信号的底引出电极和用于引出顶电极电信号的顶引出电极。
6.根据权利要求5所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：所述底引出电极与所述顶电极之间设置有绝缘层。
7.根据权利要求5所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：多个所述悬臂梁的底电极和顶电极均采用并联连接。
8.根据权利要求1所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：所述柔性弹性件为具有弹性的波形结构。
9.根据权利要求2或3所述的一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，其特征在于：所述晶圆衬底为Si晶圆衬底，其顶面、固定柱的顶面和悬臂梁均制成双晶片的压电叠层结构，所述压电叠层结构从下至上依次为下电极、第一压电薄膜、中间电极、第二压电薄膜和上电极。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉敏声新技术有限公司，未经武汉敏声新技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910799686.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于振动感测装置的振动组件以及振动感测装置
- 下一篇：一种激光MEMS麦克风
