[发明专利]一种叉指换能器阵列及制作方法

权利要求书

1.一种叉指换能器阵列，其特征在于，所述叉指换能器阵列包括：聚偏氟乙烯基底和N个梯形叉指电极阵元，N为大于3的整数；所述聚偏氟乙烯基底为圆盘形，多个所述梯形叉指电极阵元以所述聚偏氟乙烯基底的圆心为中心沿圆周方向均匀分布在所述聚偏氟乙烯基底的表面；

所述梯形叉指电极阵元的正极叉指电极包括正极外接端和多个相互间隔的正电极，多个所述正电极的一端均与所述正极外接端连接，多个所述正电极共面，所述梯形叉指电极阵元的负极叉指电极包括负极外接端和多个相互间隔的负电极，多个所述负电极的一端均与所述负极外接端连接，多个所述负电极共面；各所述梯形叉指电极阵元中的多个所述正电极和多个所述负电极交替间隔排列；

各相邻的两个所述梯形叉指电极阵元共用一个所述正极外接端，各相邻的两个所述梯形叉指电极阵元共用一个所述负极外接端；

所述梯形叉指电极阵元中所述正电极的宽度和所述负电极的宽度从所述正极外接端到所述负极外接端逐渐变小。

2.根据权利要求1所述的一种叉指换能器阵列，其特征在于，所述梯形叉指电极阵元由金粉制成。

3.根据权利要求1所述的一种叉指换能器阵列，其特征在于，所述聚偏氟乙烯基底厚度为0.3mm。

4.一种叉指换能器制作方法，其特征在于，所述方法包括：

将聚偏氟乙烯材料沿厚度方向进行极化，得到聚偏氟乙烯基底，所述聚偏氟乙烯基底为圆盘形；

以所述聚偏氟乙烯基底为底面，在所述底面上设计N个梯形叉指电极阵元的图形，N为大于3的整数，多个所述梯形叉指电极阵元以所述底面的圆心为中心沿圆周方向均匀分布在所述底面的表面；所述梯形叉指电极阵元的正极叉指电极包括正极外接端和多个相互间隔的正电极，多个所述正电极的一端均与所述正极外接端连接，多个所述正电极共面，所述梯形叉指电极阵元的负极叉指电极包括负极外接端和多个相互间隔的负电极，多个所述负电极的一端均与所述负极外接端连接，多个所述负电极共面；各所述梯形叉指电极阵元中的多个所述正电极和多个所述负电极交替间隔排列；各相邻的两个所述梯形叉指电极阵元共用一个所述正极外接端，各相邻的两个所述梯形叉指电极阵元共用一个所述负极外接端；

采用喷金工艺，根据所述N个梯形叉指电极阵元图形，将N个梯形叉指电极阵元沉积在所述聚偏氟乙烯基底的表面上，得到聚偏氟乙烯基梯形叉指换能器阵列；

采用聚合物保护层对所述聚偏氟乙烯基梯形叉指换能器阵列进行封装；

所述梯形叉指电极阵元中所述正电极的宽度和所述负电极的宽度从所述正极外接端到所述负极外接端逐渐变小。

5.根据权利要求4所述的叉指换能器制作方法，其特征在于，所述梯形叉指电极阵元由金粉制成。

6.根据权利要求4所述的叉指换能器制作方法，其特征在于，所述聚偏氟乙烯基底厚度为0.3mm。