[发明专利]具有微机电探针的探针模块及其制造方法

说明书

本发明涉及一种具有微机电探针的探针模块及其制造方法，包含有一电路基板以及至少一通过微机电制程形成于电路基板一植针表面的微机电探针，微机电探针包含有一针身以及一针尖，针身包含有第一、二端部以及一纵长部，纵长部具有面向相反的第一、二方向的第一、二表面，针尖自针身朝第一方向延伸而出且更经由镭射切割成渐缩状而具有一尖端，第一、二端部至少其中之一具有一朝第二方向凸出于第二表面的支撑座，支撑座连接于植针表面而使纵长部及针尖悬空于植针表面上方；由此，微机电探针的针尖的尖端微小而可适用于微小电子元件的检测，且制造方法省时并具有高合格率。

技术领域

本发明与探针卡的探针模块有关，特别是指一种具有微机电探针的探针模块，以及探针模块的制造方法。

背景技术

习知探针卡的探针依形状主要可分为两种，即垂直式探针以及悬臂式探针，而此两种探针均可依制造方式而再分为两种，也就是机械加工而成的传统探针以及微机电制程制造的微机电探针。然而，对于现今日趋微小化的电子元件而言，由于其导电垫片的尺寸及间距相当微小，其检测作业所需的探针卡的探针模块必须具有针尖微小且位置精度高的探针，但目前现有的探针难以达到此需求。虽然微机电制程可制造出位置精度较佳的探针，但微机电制程若要制作出呈渐缩状的探针针尖，则必须要重复进行相当多次的光微影及电铸步骤，不但费时、合格率低，且仍难以形成相当微小的针尖尖端。因此，目前现有的探针卡的探针模块已难以适用于微小电子元件(例如微发光二极管)的检测。

举例而言，微发光二极管(micro LED)的导电垫片可供探针点触的范围的直径约仅有4微米；习用的垂直式探针，包含传统探针(例如Cobra成型针)及微机电探针，应用于探针卡时均需穿设于具有导引孔的导板，其一般位置精度为±12.5μm；习用的传统悬臂式探针的一般位置精度为±5μm，而习用的悬臂式微机电探针的一般位置精度为±3μm。由于前述的位置精度范围都大于微发光二极管的导电垫片可供探针点触的范围，因此习知采用前述探针的探针模块均不适用于微发光二极管的检测。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种具有微机电探针的探针模块，以及探针模块的制造方法，其中微机电探针的针尖的尖端微小而可适用于微小电子元件的检测，且制造方法省时并具有高合格率。

为达到上述目的，本发明所提供的一种具有微机电探针的探针模块，其特征在于包含有：一电路基板，具有一植针表面；至少一微机电探针，由微机电制程形成于所述电路基板的植针表面，所述微机电探针包含有一针身及一针尖，所述针身包含有一第一端部、一第二端部，以及一自所述第一端部沿一纵长轴延伸至所述第二端部的纵长部，所述纵长部具有一面向一实质上垂直于所述纵长轴的第一方向的第一表面，以及一面向一与所述第一方向相反的第二方向的第二表面，所述针尖自所述针身朝所述第一方向延伸而出，且所述针尖更经由镭射切割成渐缩状而具有一尖端，所述第一端部及所述第二端部至少其中之一具有一朝所述第二方向凸出于所述第二表面的支撑座，所述支撑座连接于所述电路基板的植针表面而使所述纵长部及所述针尖悬空于所述植针表面上方。

上述本发明的技术方案中，所述微机电探针的针尖的尖端具有一弧面，所述弧面的宽度小于5微米。

所述针尖的形状实质上呈一圆锥及一多角锥二者其中之一。

所述第一端部具有所述支撑座，所述第二端部悬空于所述植针表面上方，所述针尖自所述第二端部朝所述第一方向延伸而出。

所述第二端部具有一朝所述第一方向凸出于所述第一表面的针尖座，所述针尖自所述针尖座延伸而出。

所述探针模块包含有多个所述微机电探针，多个所述微机电探针中包含一第一探针及一第二探针，所述第一探针的针尖及所述第二探针的针尖相邻且实质上沿一假想直线排列，所述第一探针的纵长部自第二端部朝一实质上垂直于所述假想直线的第三方向延伸，所述第二探针的纵长部自第二端部朝一与所述第三方向相反的第四方向延伸。