[发明专利]一种冷却水自动调节系统

说明书

本发明涉及一种冷却水自动调节系统，包括：第一温度传感器，其布置在待冷却部件的区域中以用于测量所述待冷却部件的第一温度，其中所述待冷却部件能够通过冷却水被冷却；自动阀，其布置在冷却水的流动路径上，其中所述自动阀被配置为根据来自控制器的调节信号调节冷却水的流量；以及控制器，其被配置为根据第一温度生成调节信号。此外，本发明还涉及一种用于自动调节冷却水的方法。通过本发明，可以自动、实时地控制冷却水的流量，以维持待冷却部件的预定温度。

技术领域

本发明总的来说涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种冷却水自动调节系统。此外，本发明还涉及一种用于自动调节冷却水的方法。

背景技术

如今，半导体器件已深入到现代生活的方方面面。而诸如计算机、移动电话之类的大多数电子产品的核心部件、如处理器、存储器等都含有半导体器件。半导体器件已在现代信息化设备中扮演至关重要的角色。

半导体制造的一个常见工艺是加热，其例如用于对器件或材料进行氧化、掺杂、沉积和退火等等。目前，在半导体制造设备的加热器周围一般配备有工艺冷却水(ProcessCooling Water，PCW)设备来对待冷却部件进行冷却。然而，目前的PCW设备不具备智能控制功能，而是大多由人工来操控。人工操控往往造成冷却水流量过低或过高。如果冷却水流量过低，机台将自动关闭加热器防止部件过温造成损坏。在生产过程中，加热器突然关闭将导致工艺中断，炉中大量产品将会受到影响、甚至批量报废。但是冷却水流量高大也会造成部件累积副产品，甚至可能产生颗粒问题。此外，人工操作还存在操作滞后、反应不及时的问题。

发明内容

本发明的任务是提供一种冷却水自动调节系统、以及一种用于自动调节冷却水的方法。通过该系统和/或该方法，可以自动、实时地控制冷却水的流量，以维持待冷却部件的预定温度。

在本发明的第一方面，该任务通过一种冷却水自动调节系统来解决，该系统包括：

第一温度传感器，其布置在待冷却部件的区域中以用于测量所述待冷却部件的第一温度，其中所述待冷却部件能够通过冷却水被冷却；

自动阀，其布置在冷却水的流动路径上，其中所述自动阀被配置为根据来自控制器的调节信号调节冷却水的流量；以及

控制器，其被配置为根据第一温度生成调节信号。

在本发明中，措辞“某个部件的区域”不仅涵盖了该部件本身，还还涵盖了该部件周围如下范围的区域：在该范围的区域内，能够与该部件发生所期望的作用关联、例如能够对该部件进行温度测量。

在本发明的一个扩展方案中规定，该系统还包括手动阀，所述手动阀布置在冷却水的流动路径上以用于调节冷却水的流量。通过设置手动阀，可以允许人工干预冷却水的流量或流速。手动阀例如可以被配置为调节冷却水的流量或者开启或关闭冷却水。

在本发明的一个优选方案中规定，该系统还包括第二温度传感器，其布置在加热器的区域中以用于测量加热器的第二温度，其中控制器还被配置为执行下列动作：

根据第二温度确定待冷却部件的最佳冷却温度；以及

将第一温度与最佳冷却温度相比较，并且在第一温度大于最佳冷却温度的情况下生成调节信号，使得待冷却部件的温度以所定义的速度下降到最佳冷却温度。

通过该优选方案，可以在不同的加热器温度下下降到待冷却部件的最佳冷却温度并将其维持在该温度。最佳冷却温度可以根据试验来确定或者可以由厂家来预设，并且与加热器温度相关联地存储在控制器中或控制器可读取的相应存储装置中。此外，该优选方案还实现了所定义的冷却速度，以避免过快或过慢的降温造成不利影响。由于冷却速度与冷却水的流量相关联，因此可以通过调节冷却水的流量来设置冷却速度。

在本发明的一个扩展方案中规定，所述第一温度传感器和/或第二温度传感器为热电偶。在本发明的教导下，其它温度传感器也是可设想的、例如电子温度计。