[发明专利]一种柔性触控屏显示板及其制作方法和应用在审
| 申请号: | 201910739564.X | 申请日: | 2019-08-12 |
| 公开(公告)号: | CN110502147A | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
| 发明(设计)人: | 隽培军;杨顺桃 | 申请(专利权)人: | 隽美经纬电路有限公司 |
| 主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G06F3/045 |
| 代理公司: | 61254 西安中科汇知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王培境<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址: | 712000 陕西省咸阳市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 触控屏 显示板 制作 良率 真空溅射镀膜 柔性显示板 材料准备 产品性能 沉铜电镀 触控面板 感光油墨 弯折性能 网格制造 性能参数 质量检测 最小线宽 加成法 柔性屏 铜箔 显影 线宽 制备 精密 曝光 通讯 应用 | ||
发明提供了一种柔性触控屏显示板制作方法及其制作方法和应用,其特征在于,所述制作方法包括以下步骤:柔性显示板材料准备,加成法制作柔性触控屏显示板精密线路,具体为真空溅射镀膜、涂布感光油墨、线路曝光及显影、沉铜电镀、质量检测。本发明的有益效果在于:本发明提供的一种柔性触控屏显示板实现了利用铜箔网格制造成触控面板的目的,使得柔性触控屏显示板具有优良的性能参数:表面阻值可达到1Ω以内;最小线宽可达到5um,良率达90%以上;线宽可达到10um,良率达95%以上;且制作方法简单,制备成本低;产品性能优良,不仅可以满足5G通讯的要求,而且在弯折性能方面具有显著的优势,是5G柔性屏的最佳选择。
技术领域
本发明属于通讯技术领域,涉及通讯领域中使用的触控屏显示板,具体涉及一种柔性触控屏显示及其制作方法和应用。
背景技术
现有技术中大多数的触控显示板,采用铟锡氧化物(ITO,IndiumTin Oxide)材料,因为其具有良好的导电性与透光性,但ITO触控线路受固有的脆性影响,在数次弯曲或较大幅度弯折后,电阻率会急剧上升,致使触控功能失效,另外ITO在弯折时也容易断裂。
ITO触控面板的制作流程:基板玻璃切割--基板清洗--镀ITO膜--涂布光阻--曝光--显影--蚀刻--光阻剥离--清洗--涂布绝缘层。
现在的5G通讯要求触控显示板反应速度为4G的10倍,这就要求触控显示板电极的表面电阻必须达到10Ω以内,甚至1Ω以内。Glass-ITO表面电阻值为50-100Ω,Film-ITO表面电阻值为100-150Ω,无法达到5G通讯的要求。
因此,开发一种可以用于5G通讯领域的柔性触控屏显示板的材料,及其制备方法就显得尤为重要。
发明内容
为了弥补现有技术的不足,本发明提供了一种柔性触控屏显示及其制作方法和应用,将发明制备柔性触控屏显示板的用于5G通讯领域可以降低触控电阻,同时实现触控屏显示板高敏感度、高反应速度的目的。
一种柔性触控屏显示板制作方法,包括以下步骤:
(1)柔性显示板材料准备:选择性能满足耐弯折、透明度高、分子结构稳定的介质层透明材料,前述介质层透明材料为聚酰亚胺PI;
(2)加成法制作柔性触控屏显示板精密线路,具体如下:
①真空溅射镀膜:在前述介质层透明材料的表面进行真空溅射镀膜,形成种子层;前述真空溅射镀膜是指采用真空溅射机利用气体放电产生的正离子在电场的作用下的高速运动轰击作为阴极的靶材,使前述靶材中的原子或分子逸出来而沉淀到被镀工件的表面,形成所需要的薄膜;前述真空溅射镀膜的工艺要求为真空度1.0*10-3-1.0*10-4Pa,真空状态充入惰性气体氩气,溅射压力为1.0*10-1-1.0Pa;
②涂布感光油墨:在前述种子层上涂布一层感光油墨,形成感光油墨层,以便在前述感光油墨层上生产需要的精密线路;前述涂布方法为使用精密涂布机,通过滚轮传输结构,在前述种子层表面涂上一层厚度符合要求的感光油墨;
③线路曝光及显影:使用正片菲林图形,利用紫外线照射前述感光油墨层,使感光油墨产生聚合反应;菲林上不透光部分遮挡了紫外线的照射,显影形成显影图形;而菲林上透光部分使感光油墨硬化,利用1%浓度的Na2CO3将没有发生聚合反应的感光油墨去除掉,显露出镀膜层,形成显影图形;
④沉铜电镀:在前述显影图形上通过沉铜工艺沉积一层铜,形成导体线路及网格,即得到柔性触控屏显示板精密线路;
⑤质量检测:采用自动光学检测机AOI对前述柔性触控屏显示板精密线路进行质量检测,合格品即为柔性触控屏显示板。
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