[发明专利]一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法

说明书

本发明公开了一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法,包括自动上料装置本体，夹料机构，在自动上料装置本体上设有夹料机构移动轨道，夹料机构移动轨道槽，夹料机构，轨道支架，控位气缸，一级上料传送带，推料气缸，二级上料传送带，移动块，滚轮，水平推动气缸，夹持杆A，升降伺服电机，夹头，夹持杆B，转向电机，吸盘，吸泵，伺服电机，自动上料装置本体的夹料机构移动支架内部装有夹料机构，夹料机构在伺服电机的驱动下在夹料机构移动轨道槽内部来回移动，实现自动上料，该装置设计合理，采用夹料机构上的吸盘与夹头实现自动上料，上料准确，避免人工上料导致的多余曝光。

技术领域

本发明涉及激光曝光机上料技术领域，具体为一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法。

背景技术

曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。

常见曝光机有MYCRO美国制造的恩科优（N&Q）紫外曝光系统，适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。

但是，有部分曝光机在使用的时候需要手动上料，纳闷在上料的过程中难免会有手接触到曝光片，也有可能导致曝光材料见光，导致曝光过度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种激光曝光机自动上料装置,包括自动上料装置本体，夹料机构，所述自动上料装置本体上设有机台，机台的一侧上方竖直方向设有轨道支架，所述轨道支架的底端与机台固定连接，轨道支架的顶部一侧设有夹料机构移动轨道，所述夹料机构移动轨道的内部下方设有夹料机构，所述机台的内部设有一级上料传送带与二级上料传送带，一级上料传送带与二级上料传送带在同一水平高度。

优选的，所述夹料机构上设有移动块，移动块的内部设有伺服电机，所述移动块的两侧中央设有滚轮，滚轮安装在伺服电机的转轴上，所述移动块的底部两端对称设有水平推动气缸，水平推动气缸通过螺丝固定在移动块的两侧，所述移动块的底部对称设有加持杆A与夹持杆B，夹持杆A与夹持杆B均安装在水平推动气缸的推轴上。

优选的，所述夹持杆A的中央设有升降伺服电机，升降伺服电机与夹持杆A的上方固定连接，所述升降伺服电机的转轴上设有夹头，夹头的上端与升降伺服电机的转轴连接。

优选的，所述夹持杆B的中央设有升降伺服电机，夹持杆B上的升降伺服电机的转轴上设有夹杆，夹杆的底部端头设有转向电机，所述转向电机下方的夹头内部设有吸泵，吸泵的泵头上设有吸盘。

优选的，所述一级上料传送带的上方两端对称设有控位气缸，控位气缸安装在机台的上方边缘。

优选的，所述二级上料传送带上设有传送皮带，传送皮带的内部设有推料气缸，所述推料气缸垂直安装在传送皮带的内部。

优选的，所述夹料机构移动轨道的内部设有夹料机构移动轨道槽，夹料机构移动轨道槽的两侧下方对称设有滚轮槽。

优选的，一种激光曝光机自动上料装置，其上料方法包括以下步骤：

A、先将物料放置在一级上料传送带上的一端，一级上料传送带将物料送至一级上料传送带的另一端；

B、一级上料传送带停止移动，夹料机构在夹料机构移动轨道槽内部移动到一级上料传送带的一端正上方；