[发明专利]一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置

说明书

本发明公开了一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，包括箱体，箱体上安装有箱门，箱体的顶部开设有出风口，箱体的内腔设置有隔板，隔板将箱体的内腔分隔为两层，且隔板的边沿均固定连接箱体的内腔壁，隔板的下方设置有加热装置，且隔板的上方设置有挂载装置，隔板的下方还设置金属管，金属管的一端贯穿箱体的侧壁延伸到箱体外部，且金属管延伸到箱体外部的一端固定连接有气泵的输出端，金属管远离气泵的一端贯穿隔板延伸到隔板上方，且金属管远离气泵的一端套接有软管。该多晶硅片清洗制绒机烘干装置单次处理量大，节省成本，增大企业效益；同时可以做到多角度烘干，节省时间装置结构简单，方便操作者学习，满足了企业的需求。

技术领域

本发明涉及半导体材料加工技术领域，具体为一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置。

背景技术

目前，硅材料大量用于日常生活之中，硅片的生产量也日趋增大，硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗制绒，清洗的目的是消除吸附在硅片表面的各类污染物，制绒是在其表面制作绒面结构减少太阳光发射，清洗洁净程度直接影响成品率。硅片清洗机往往配置大量槽位，不易清洗，污染物又会对传动机构造成腐蚀，槽位水分难以烘干，都是目前清洗机烘干存在的问题。

综上所述，现有技术存在的问题是：目前多晶硅片清洗制绒机的烘干方式需要消耗大量的氮气，不仅设备造价昂贵，而且企业生产成本高，难以获取利益，以往干燥方法往往不能彻底干燥，造成水分残留。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，包括箱体，所述箱体上安装有箱门，所述箱体的顶部开设有出风口，所述箱体的内腔设置有隔板，所述隔板将箱体的内腔分隔为两层，且隔板的边沿均固定连接箱体的内腔壁，所述隔板的下方设置有加热装置，且隔板的上方设置有挂载装置，所述隔板的下方还设置金属管，所述金属管的一端贯穿箱体的侧壁延伸到箱体外部，且金属管延伸到箱体外部的一端固定连接有气泵的输出端，所述金属管远离气泵的一端贯穿隔板延伸到隔板上方，且金属管远离气泵的一端套接有软管；

所述挂载装置包括底板，所述底板上开设有若干个通孔，且底板的顶部固定连接有若干立管，所述立管呈矩阵状排列，所述立管的上方设置有顶板，且立管的顶部与顶板固定连接，所述顶板的内部中空，且其与立管连通，所述顶板上固定连接有与其内腔连通的接头，所述接头与软管配合，所述立管的管壁上均匀开设有若干出气孔，所述顶板的顶部中心固定连接有挂环且顶板的上方设置有挂钩，所述挂钩固定连接在箱体的内腔顶部中心，且挂钩与挂环配合。

优选的，所述加热装置为电热丝或火炉。

优选的，所述隔板为金属导热板。

优选的，所述出风口内安装有排风扇。

优选的，所述箱门位于隔板的上方，且箱门的大小不小于挂载装置的单侧面面积。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该多晶硅片清洗制绒机烘干装置单次处理量大，节省成本，增大企业效益；同时可以做到多角度烘干，节省时间，同时装置本身在10万级无尘车间中使用，保重了控干不存在污染。装置结构简单，方便操作者学习，满足了企业的需求。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为图1的A处放大图。

图中标号：1箱体、2箱门、3出风口、4隔板、5加热装置、6挂载装置、61底板、62立管、63顶板、64接头、65挂环、66挂钩、7金属管、8气泵、9软管。

具体实施方式