[发明专利]一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置

权利要求书

1.一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)上安装有箱门(2)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部开设有出风口(3)，所述箱体(1)的内腔设置有隔板(4)，所述隔板(4)将箱体(1)的内腔分隔为两层，且隔板(4)的边沿均固定连接箱体(1)的内腔壁，所述隔板(4)的下方设置有加热装置(5)，且隔板(4)的上方设置有挂载装置(6)，所述隔板(4)的下方还设置金属管(7)，所述金属管(7)的一端贯穿箱体(1)的侧壁延伸到箱体(1)外部，且金属管(7)延伸到箱体(1)外部的一端固定连接有气泵(8)的输出端，所述金属管(7)远离气泵(8)的一端贯穿隔板(4)延伸到隔板(4)上方，且金属管(7)远离气泵(8)的一端套接有软管(9)；

所述挂载装置(6)包括底板(61)，所述底板(61)上开设有若干个通孔，且底板(61)的顶部固定连接有若干立管(62)，所述立管(62)呈矩阵状排列，所述立管(62)的上方设置有顶板(63)，且立管(62)的顶部与顶板(63)固定连接，所述顶板(63)的内部中空，且其与立管(62)连通，所述顶板(63)上固定连接有与其内腔连通的接头(64)，所述接头(64)与软管(9)配合，所述立管(62)的管壁上均匀开设有若干出气孔，所述顶板(63)的顶部中心固定连接有挂环(65)且顶板(63)的上方设置有挂钩(66)，所述挂钩(66)固定连接在箱体(1)的内腔顶部中心，且挂钩(66)与挂环(65)配合。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，其特征在于：所述加热装置(5)为电热丝或火炉。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，其特征在于：所述隔板(4)为金属导热板。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，其特征在于：所述出风口(3)内安装有排风扇。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，其特征在于：所述箱门(2)位于隔板(4)的上方，且箱门(2)的大小不小于挂载装置(6)的单侧面面积。