[发明专利]一种热轧盘条表面氧化铁皮结构快速分析方法

权利要求书

1.一种热轧盘条表面氧化铁皮结构快速分析方法，其特征在于工艺步骤是：

S1：试样的制备，采用精密切割机切割出待测热轧盘条横截面试样，采用保边型热镶嵌料对试样进行镶嵌，采用磨抛机依此对试样进行磨平与抛光，制备出所需试样；

S2：扫描电镜形貌观察，将制备好的截面试样用导电胶带固定在扫描电镜的样品台上，抽真空，加灯丝电流，对中消象散，保持工作距离8~10mm，调节好亮度、对比度，以能够获得清晰的不同层次氧化铁皮形貌像；

S3：能谱成分分析，采用能谱对不同层次氧化铁皮进行微区成分分析，打开X射线能谱仪，待灯丝电流发射束流稳定后，进入能谱分析程序；选择完整的、有代表性的或做过标识的氧化铁皮位置进行分析，分别对氧化铁皮各个层次进行微区成分分析，考虑到能谱工作原理及保证检测结果的代表性，在各个层次氧化铁皮靠近中间位置分别取三个点进行微区成分分析；

S4：氧化铁皮厚度测量，采用扫描电镜测量尺对氧化铁皮厚度进行测量，在能谱分析位置分别测量各个层次氧化铁皮厚度以及氧化铁皮总厚度；

S5：根据能谱分析结果进行数据处理，按照热轧盘条氧化铁皮结构分布一般原则：最外层Fe₂O₃、次外层Fe₃O₄、最内层FeO，结合能谱分析Fe、O元素原子比，确定氧化铁皮各层具体组分；最后综合氧化铁皮各个层次厚度及总厚度测量结果，得出热轧盘条表面氧化铁皮厚度、组分的具体信息。

2.如权利要求1所述热轧盘条表面氧化铁皮结构快速分析方法，其特征在于：在步骤S1中采用保边型热镶嵌料的目的是避免镶嵌及后续磨抛过程氧化铁皮剥落、脱离基体，影响后续分析。

3.如权利要求1所述热轧盘条表面氧化铁皮结构快速分析方法，其特征在于：所述磨抛机工作工艺包括粗磨、细磨、精磨、抛光、清洗。

4.如权利要求1所述热轧盘条表面氧化铁皮结构快速分析方法，其特征在于：在所述步骤S1中所需试样要求是表面光洁度高，试样边缘完整。

5.如权利要求1所述轧盘条表面氧化铁皮结构快速分析方法，其特征在于：在所述步骤S2中可放大图像使氧化铁皮充满整个视场获得理想的观察视场，调节好二次电子像或背散射电子像的衬度差，以便于能谱仪抓取电子图像，由于受轧制及冷却工艺影响，盘条表面氧化铁皮通常为两层或三层，在调整二次电子像或背散射电子像时，在组织清晰不失去细节的情况下，尽量采用大对比度。

6.如权利要求1所述热轧盘条表面氧化铁皮结构快速分析方法，其特征在于：在所述步骤S3中考虑到能谱为半定量分析以及对轻元素分析的不确定性，能谱结果中去除C及之前元素，只保留C之后元素，并输出能谱分析元素原子百分比结果。