[发明专利]指纹识别模组及其制备方法、相关装置

权利要求书

1.一种指纹识别模组，其特征在于，所述指纹识别模组包括感光薄膜晶体管基板，所述感光薄膜晶体管基板包括衬底基板、栅极层、导电层和用于感光的铁电材料层；

所述栅极层位于所述衬底基板之上；所述铁电材料层位于所述栅极层之上，所述铁电材料层在所述衬底基板上的投影与所述栅极层在所述衬底基板上的投影部分或全部重叠；所述导电层位于所述铁电材料层之上，所述导电层在所述衬底基板上的投影与所述铁电材料层在所述衬底基板上的投影部分或全部重叠；

所述指纹识别模组还包括开关薄膜晶体管基板，所述开关薄膜晶体管基板与所述感光薄膜晶体管基板电连接，所述开关薄膜晶体管基板用于读取源漏极电流变化，以实现指纹识别。

2.根据权利要求1所述的指纹识别模组，其特征在于，所述铁电材料层中的铁电材料的禁带宽度范围为[1.631ev，3.179ev]。

3.根据权利要求2所述的指纹识别模组，其特征在于，所述铁电材料层中的铁电材料的禁带宽度范围为[2.500ev，2.700ev]。

4.根据权利要求1所述的指纹识别模组，其特征在于，所述铁电材料为铁酸铋。

5.根据权利要求1所述的指纹识别模组，其特征在于，所述导电层为氧化铟锡层。

6.一种指纹识别装置，其特征在于，所述指纹识别装置包括如权利要求1～5任一项所述的指纹识别模组。

7.根据权利要求6所述的指纹识别装置，其特征在于，所述指纹识别装置包括多个显示屏，且所述多个显示屏中的至少一个显示屏内设置有所述指纹识别模组。

8.一种指纹识别模组的制备方法，其特征在于，所述方法包括感光薄膜晶体管基板的制备，制备方法如下：

提供衬底基板，在所述衬底基板上制备栅极层；

在所述栅极层上制备铁电材料层，所述铁电材料层在所述衬底基板上的投影与所述栅极层在所述衬底基板上的投影部分或全部重叠；

在所述铁电材料层上制备导电层，所述导电层在所述衬底基板上的投影与所述铁电材料层在所述衬底基板上的投影部分或全部重叠；

将所述铁电材料层和导电层进行图案化处理，从而得到感光薄膜晶体管基板；

所述方法还包括，制备开关薄膜晶体管基板，以得到指纹识别模组；

所述开关薄膜晶体管基板与所述感光薄膜晶体管基板电连接，所述开关薄膜晶体管基板用于读取源漏极电流变化，以实现指纹识别。

9.根据权利要求8所述的指纹识别模组的制备方法，其特征在于，在所述栅极层上制备铁电材料层包括：

通过化学溶液法，在所述栅极层上制备铁电材料薄膜，形成铁电材料层。

10.根据权利要求9所述的指纹识别模组的制备方法，其特征在于，所述化学溶液法采用的溶液包括醋酸铋、醋酸铁和丙酸。

11.根据权利要求10所述的指纹识别模组的制备方法，其特征在于，所述溶液中还包括乙醇胺。