[发明专利]用于借助电磁射束检测物体表面的设备和方法

权利要求书

1.一种用于检测物体表面(16)的设备(10)，该设备具有：

射束产生装置(17)，该射束产生装置具有至少一个射束源(12)，其中该射束产生装置(17)被配置成用于使具有第一波长的第一电磁射束和具有第二波长的第二电磁射束照射到物体表面(16)的至少一个待测量的测量点(32)上或照射到物体表面(16)的待测量区域上，该待测量区域具有至少一个待测量的测量点(32)，其中该射束产生装置(17)被配置成用于在该第一波长与该第二波长之间的波长范围中不使射束或不使用于表面检测的射束照射到该物体表面(16)的待测量的测量点(32)上或区域上；以及

检测装置(31)，该检测装置被配置成用于针对该待测量的测量点(32)或针对这些待测量的测量点(32)分别检测至少一个第一测量值和至少一个第二测量值，其中该第一测量值基于从该物体表面(16)反射的、具有第一波长的射束，而该第二测量值基于从该物体表面(16)反射的、具有第二波长的射束，

其特征在于，

该第一测量值和该第二测量值分别是距离该物体表面(16)的距离值。

2.根据权利要求1所述的设备(10)，

其中该射束产生装置(17)被配置成用于使具有该第一波长的该第一电磁射束和具有该第二波长的该第二电磁射束至少暂时地同时照射到该物体表面(16)上。

3.根据权利要求2所述的设备(10)，

其中该检测装置(31)被配置成用于在同时照射期间检测具有该第一波长和该第二波长的反射射束。

4.根据权利要求1至3之一所述的设备(10)，

其中该设备(10)被配置成用于使具有该第一波长的该第一电磁射束和具有该第二波长的该第二电磁射束以彼此不同的强度照射到该物体表面(16)上。

5.根据权利要求1至3之一所述的设备(10)，

该设备进一步包括射束衰减器(55)，以便在由该检测装置(31)检测之前使具有该第一波长的该第一电磁射束和具有该第二波长的该第二电磁射束中的至少一者衰减；和/或

其中针对具有该第一波长的该第一电磁射束和具有该第二波长的该第二电磁射束，该检测装置(31)具有不同的灵敏度。

6.根据权利要求1至3之一所述的设备(10)，

其中该射束产生装置(17)被配置成用于使具有该第一波长的该第一电磁射束和具有该第二波长的该第二电磁射束以彼此成角度的方式照射到该物体表面(16)上。

7.根据权利要求1至3之一所述的设备10)，

其中该射束产生装置(17)被配置成用于使具有该第一波长的该第一电磁射束和具有该第二波长的该第二电磁射束以基本沿着或平行于共同的射束轴线(18，22)的方式照射到该物体表面(16)上。

8.根据权利要求1至3之一所述的设备(10)，

其中该检测装置(31)包括分光元件(36)，以便将从该物体表面(16)反射的射束划分成第一射束分量和第二射束分量。

9.根据权利要求1至3之一所述的设备(10)，

该设备进一步包括信息确定装置(60)，该信息确定装置被配置成基于这些测量值来确定物体信息，其中针对该测量点或这些测量点(32)中的每个测量点，考虑与此相关的第一测量值和第二测量值中的至少一者。

10.根据权利要求9所述的设备(10)，

其中该信息确定装置(60)被配置成针对至少一个测量点(32)考虑第一测量值和第二测量值中的仅一者，和/或针对至少一个测量点(32)基于第一测量值和第二测量值来确定总测量值。

11.根据权利要求1至3之一所述的设备(10)，

其中该射束产生装置(17)包括第一射束源(12)以用于产生该第一电磁射束，并且该射束产生装置包括第二射束源(12)以用于产生该第二电磁射束，并且其中这些射束源(12)分别被设计成激光源。