[发明专利]提高刻蚀液使用寿命的方法及金属导线刻蚀装置

权利要求书

1.一种提高刻蚀液使用寿命的方法，其特征在于，包括：

S10，提供一刻蚀喷淋槽以及与所述刻蚀喷淋槽连通的刻蚀液槽，所述刻蚀液槽容置有刻蚀液，所述刻蚀液槽还连通一过滤装置，所述过滤装置包括一渗透膜；

S20，采用所述过滤装置对所述刻蚀液槽中的所述刻蚀液进行金属离子过滤，使所述刻蚀液中的金属离子浓度在预定使用范围内；

S30，将过滤后的部分所述刻蚀液回流至所述刻蚀液槽。

2.根据权利要求1所述的提高刻蚀液使用寿命的方法，其特征在于，所述渗透膜的材质为醋酸纤维素、芳香聚酰胺以及高分子复合膜中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的提高刻蚀液使用寿命的方法，其特征在于，所述渗透膜的过滤孔径范围介于0.01纳米与1000纳米之间。

4.根据权利要求1所述的提高刻蚀液使用寿命的方法，其特征在于，所述步骤S20还包括：

S201，采用第一浓度检测装置测量所述刻蚀液槽中的所述刻蚀液的金属离子浓度，得到第一测试金属离子浓度；

S202，当所述第一测试金属离子浓度小于500ppm时，通过所述渗透膜往所述刻蚀液槽内释放金属离子，当所述第一测试金属离子浓度大于2000ppm时，所述渗透膜开始从所述刻蚀液槽内吸收金属离子，最终使得所述刻蚀液槽内的所述刻蚀液的金属离子浓度介于500ppm到2000ppm之间。

5.根据权利要求1所述的提高刻蚀液使用寿命的方法，其特征在于，所述刻蚀液为双氧水系刻蚀液。

6.一种金属导线刻蚀装置，其特征在于，包括刻蚀喷淋槽、刻蚀液槽以及过滤装置，所述刻蚀液槽的一端与所述刻蚀喷淋槽连通，所述刻蚀液槽的相对另一端与所述过滤装置连通；其中，所述过滤装置包括一渗透膜，所述渗透膜用于调节所述刻蚀液中的金属离子浓度。

7.根据权利要求6所述的金属导线刻蚀装置，其特征在于，当所述刻蚀液中的金属离子浓度小于500ppm时，通过所述渗透膜往所述刻蚀液槽内释放金属离子，使得此时的金属离子浓度大于500ppm；当所述刻蚀液中的金属离子浓度大于2000ppm时，所述渗透膜开始从所述刻蚀液槽内吸收金属离子，使得此时的金属离子浓度小于2000ppm。

8.根据权利要求6所述的金属导线刻蚀装置，其特征在于，所述渗透膜的材质为醋酸纤维素、芳香聚酰胺以及高分子复合膜中的任意一种。

9.根据权利要求6所述的金属导线刻蚀装置，其特征在于，所述渗透膜的过滤孔径范围介于0.01纳米与1000纳米之间。

10.根据权利要求6所述的金属导线刻蚀装置，其特征在于，所述金属离子包括铜离子、银离子、钼离子、钛离子以及铝离子中的至少一种。