[发明专利]小型静态退火炉

说明书

本申请揭示了一种小型静态退火炉，属于电池片加工领域，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；托盘在炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；测温装置设置在炉体框架内部，实时监测炉体内的温度；炉体冷却装置设置在炉体框架内部，用于对炉体进行降温；电源装置为光照装置提供恒定电流的电源；光照装置设置在位于炉体内的托盘的上方，用于以预定波长的光照射托盘上的硅片；加热装置设置在炉体内，用于对托盘上的硅片加热。本申请将加热与光照退火集成为一体，省去了自动化生产中的运输装置，易于操作，并且能够节约成本。

技术领域

本发明属于电池片加工领域，涉及一种小型静态退火炉。

背景技术

在电池片加工时，需要先对电池片进行光照退火处理，减少由于电池片发生光致衰减带来的转化效率下降的问题。

传统的退火炉设备通过运输装置与其他自动化生产线连接，可以进行大批量地自动化生产。但是生产前，还需要先测定工艺参数，根据工艺参数来调整生产设定，再开始对电池片进行自动化生产。每次对不同片源、规格的电池片进行光注入退火处理之前，都需要启动一整条退火炉生产线进行测试，要消耗大量电力才能得出适于生产工艺参数，操作复杂，使用成本高。

发明内容

为了解决相关技术中退火炉设备每次对不同片源、规格的硅片进行光注入退火处理之前，都需要启动一整条退火炉生产线进行测试，要消耗大量电力才能得出适于生产工艺参数，操作复杂，使用成本高的问题，本发明提供了一种小型静态退火炉。技术方案如下：

提供了一种小型静态退火炉，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；托盘在炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；测温装置设置在炉体框架内部，实时监测炉体内的温度；炉体冷却装置设置在炉体框架内部，用于对炉体进行降温；电源装置为光照装置提供恒定电流的电源；光照装置设置在位于炉体内的托盘的上方，用于以预定波长的光照射托盘上的硅片；加热装置设置在炉体内，用于对托盘上的硅片加热。

通过小型静态退火炉中的加热装置对硅片，即电池片进行加热，通过光照装置对电池片进行光照退火处理，加热与光照退火集成为一体，省去了自动化生产中的运输装置，与传统的自动化生产中大型退火炉设备测试启动时耗费的电力相比，小型静态退火炉易于操作，并且能够节约成本。另外，通过炉体冷却装置对炉体进行冷却，可以保护光照装置因过热发生故障，提高了设备的可靠性。

可选的，炉体冷却装置包括风冷模块和水冷模块；风冷模块包括风机和通风管道，通风管道横跨在光照装置的上方，通风管道的两个风口分别设置在光照装置的两侧，风机用于带动气体在通风管道内和托盘下方的空间循环流动；水冷模块设置在通风管道上，通风管道中的热风经过水冷模块时将热量传递给水冷模块中的冷却液，水冷模块用于将冷却液输出到外部进行冷却后回流。

通过风机带动气体在通风管道内和托盘下方的空间循环流动，使得炉体内的高温气体流动到通风管道内，由于通风管道上设置了水冷模块，高温气体流动到水冷模块时将热量传递给水冷模块的冷却液，冷却液输出到外部冷却后回流，使得炉内气体降温，从而降低炉内温度，适应工艺需求。

可选的，水冷模块包括水冷排和水泵，水泵带动水冷排中的冷却液流动。

通过水泵将升温的冷却液输出到外部冷却，将冷却后的冷却液回流到水冷模块中，使得高温气体传递的热量能够被传递出去达到散热效果。

可选的，风机为长轴风机。

可选的，托盘以抽屉式安装在炉体框架上。

通过将托盘以抽屉式安装在炉体框架上，便于将承载硅片的托盘送入退火炉中，以及将退火处理完毕的硅片取出。

可选的，托盘上包括预定数量的镂空区域，镂空区域设置有拦网，硅片放置在镂空区域的拦网上。