[发明专利]一种微型过滤器及声学设备在审
| 申请号： | 201910579438.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110324767A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/06 | 分类号： | H04R9/06;H04R9/02;H04R7/12;B01D46/54 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基底 微型过滤器 膜层 声学设备 背腔 光敏聚合物材料 聚酰亚胺薄膜 光敏聚合物 金属薄膜 聚合工艺 制造过程 晶圆 排布 通孔 悬置 曝光 制作 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种微型过滤器，其特征在于，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层；所述膜层上具有排布的通孔，且所述膜层采用金属薄膜或者聚酰亚胺薄膜；所述基底采用光敏聚合物材料，并通过曝光、聚合工艺形成基底的形状。
2.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述基底采用环氧树脂或聚酰亚胺树脂。
3.根据权利要求2所述的微型过滤器，其特征在于，所述环氧树脂、聚酰亚胺树脂选用干膜或液体型。
4.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述金属薄膜为非晶金属。
5.根据权利要求4所述的微型过滤器，其特征在于，所述非晶金属为金属玻璃。
6.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述膜层上通孔的内径为1nm至100μm。
7.根据权利要求8所述的微型过滤器，其特征在于，所述膜层上通孔的内径为5nm至10μm。
8.一种声学设备，其特征在于，包括根据权利要求1至7任一项所述的微型过滤器。
9.根据权利要求8所述的声学设备，其特征在于，所述声学设备为麦克风芯片。
10.根据权利要求8所述的声学设备，其特征在于，所述声学设备为麦克风模组。
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