[发明专利]含有环保涂层的无取向硅钢的膜厚测量方法及测量设备

权利要求书

1.一种含有环保涂层的无取向硅钢的膜厚测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

将标准样品用在线膜厚仪进行检测，绘制出特征元素含量与环保涂层膜厚线性关系的上表面拟合曲线和下表面拟合曲线；

分别将所述上表面拟合曲线和下表面拟合曲线录入在线膜厚仪，对待测样品进行检测，根据所测得的特征元素含量计算出环保涂层的膜厚；

其中，所述标准样品为特征元素含量已知、环保涂层厚度已知的无取向硅钢，所述特征元素为环保涂层中所含有的金属元素。

2.如权利要求1所述的含有环保涂层的无取向硅钢的膜厚测量方法，其特征在于，所述特征元素为钛或锌。

3.一种用于权利要求1所述的含有环保涂层的无取向硅钢的膜厚测量方法的测量设备，其特征在于，包括上行走轨道、下行走轨道、上表面测量器和下表面测量器，所述上表面测量器活动设置于上行走轨道上，所述下表面测量器活动设置于下行走轨道上。

4.如权利要求3所述的测量设备，其特征在于，所述上表面测量器的内侧和下表面测量器的内侧各固设有一个接收器和一个X射线发生器。

5.如权利要求4所述的测量设备，其特征在于，所述X射线发生器的表面可拆卸地设有滤光片。