[发明专利]配线固定构造和处理装置

权利要求书

1.一种配线固定构造，其具备：

金属构件，其具有金属面；

配线，其是将多个导体板隔开预定间隔且相互平行地配置而成的，该导体板具有沿着板厚方向贯穿的贯通孔；

第1绝缘构件，其具有：多个第1保持部，其形成有能够与所述贯通孔嵌合的凸部；第1连接部，其以所述预定间隔连接所述多个第1保持部；以及支脚部，其从所述第1连接部以与所述第1保持部平行地延伸的方式形成，该支脚部固定于所述金属面；以及

第2绝缘构件，其具有：多个第2保持部，其与所述多个第1保持部分别协作来夹持并保持所述导体板；以及第2连接部，其以所述预定间隔连接所述多个第2保持部，

所述配线利用所述第1绝缘构件和所述第2绝缘构件以与所述金属面分开的方式保持。

2.根据权利要求1所述的配线固定构造，其中，

所述第1连接部形成为板状，且具有沿着板厚方向贯穿的多个开口，

所述多个第2保持部分别贯穿于所述多个开口的各个开口，从而使所述导体板被夹持。

3.根据权利要求1或2所述的配线固定构造，其中，

所述导体板的主面与所述金属面正交。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的配线固定构造，其中，

所述凸部的高度是所述导体板的厚度以上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的配线固定构造，其中，

在所述第2保持部在与所述凸部接触的位置形成有凹部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的配线固定构造，其中，

所述第2连接部具有从与相邻的所述第2保持部中的一者连接的连接部朝向与另一者连接的连接部弯曲成截面凸状的弯曲部。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的配线固定构造，其中，

所述第2绝缘构件由弹性构件形成。

8.根据权利要求7所述的配线固定构造，其中，

所述弹性构件为聚醚酰亚胺。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的配线固定构造，其中，

所述金属构件形成处理容器的顶壁，该处理容器收容基板并对该基板实施处理。

10.一种处理装置，其具备：

处理容器，其包括窗构件，该窗构件具有固定面；

配线，其是将多个导体板隔开预定间隔且相互平行地配置而成的，该导体板具有沿着板厚方向贯穿的贯通孔；

第1绝缘构件，其具有：多个第1保持部，其形成有能够与所述贯通孔嵌合的凸部；第1连接部，其以所述预定间隔连接所述多个第1保持部；以及支脚部，其从所述第1连接部以与所述第1保持部平行地延伸的方式形成，该支脚部固定于所述固定面；以及

第2绝缘构件，其具有：多个第2保持部，其与所述多个第1保持部分别协作来夹持并保持所述导体板；以及第2连接部，其以所述预定间隔连接所述多个第2保持部，

所述配线利用所述第1绝缘构件和所述第2绝缘构件以与所述固定面分开的方式保持。

11.根据权利要求10所述的处理装置，其中，

所述窗构件是金属窗。

12.根据权利要求10所述的处理装置，其中，

所述窗构件是电介质窗。