[发明专利]抗干扰高灵敏度紫外光探测器有效
申请号: | 201910529519.1 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN112201704B | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 吕惠宾;郭尔佳;何萌;金奎娟;杨国桢 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/024;H01L31/18;G01J1/42 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;王博 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抗干扰 灵敏度 紫外光 探测器 | ||
本发明提供一种紫外光探测器,包括:吸收体,所述吸收体的禁带宽度大于3.2eV;设置在所述吸收体的一个表面的第一电极,所述第一电极采用能够透过紫外光的导电材料,并且所述第一电极覆盖所述吸收体的所述一个表面;设置在所述吸收体的另一个表面的第二电极和第三电极;以及电源,所述电源的正极和负极分别连接至所述第二电极和所述第一电极。本发明的紫外光探测器灵敏度高、抗干扰能力强。
技术领域
本发明涉及一种光电探测器,特别涉及一种抗干扰高灵敏度紫外光探测器。
背景技术
紫外光探测器不受可见和红外光的干扰,能在可见光和红外光的环境条件下对紫外光信号进行探测,具有其独特的优点,在科研、空间探测和军事等领域具有非常广泛和重要的应用。但到目前为止,紫外光探测器的灵敏度等各项指标与可见光和红外光的探测器还相差甚远。本申请人已申请了几种可见盲和日盲的紫外光探测器,如专利文献CN106997907B、CN106997909B和CN109473488A等。尽管这些紫外光探测器具有很高的灵敏度,但由于吸收体和电极都是暴露在外面,对实际应用来说存在抗干扰能力差和易被污染等缺点。
发明内容
因此,本发明的目的在于克服上述现有技术的缺陷,提供一种紫外光探测器,包括:
吸收体,所述吸收体的禁带宽度大于3.2eV;
设置在所述吸收体的一个表面的第一电极,所述第一电极采用能够透过紫外光的导电材料,并且所述第一电极覆盖所述吸收体的所述一个表面;
设置在所述吸收体的另一个表面的第二电极和第三电极;以及
电源,所述电源的正极和负极分别连接至所述第二电极和所述第一电极。
根据本发明的紫外光探测器,优选地,还包括金属外壳,所述金属外壳具有用于暴露所述第一电极的开口,所述金属外壳与所述第一电极固定电连接,所述电源的负极与所述金属外壳电连接。
根据本发明的紫外光探测器,优选地,还包括同轴接头,所述同轴接头的外导体连接至所述金属外壳,所述同轴接头的内导线连接至所述第三电极。
根据本发明的紫外光探测器,优选地,还包括散热块,其设置在所述第二电极和所述第三电极的外表面。
根据本发明的紫外光探测器,优选地,所述吸收体的材料为钛酸锶、钛酸钡、铝酸镧、氧化锌、氧化镁、氧化锆、铌酸镧、铌酸锂、三氧化二铝、氧化锌、钽酸钾、钽酸锂或钛酸镧。
根据本发明的紫外光探测器,优选地,所述第一电极的材料为石墨烯、铟锡氧化物、钌酸锶或氮化钛。
根据本发明的紫外光探测器,优选地,所述第二电极为圆环形或方环形电极,所述第三电极为圆形或方电极,所述第三电极设置在所述第二电极的内侧。
根据本发明的紫外光探测器,优选地,所述第二电极和所述第三电极构成圆形叉指电极或方形叉指电极。
本发明还提供了一种紫外光探测器的制备方法,包括如下步骤:
步骤一:制备禁带宽度大于3.2eV的吸收体;
步骤二:在所述吸收体的一个表面生长能够透过紫外光的导电材料以形成第一电极,所述第一电极覆盖所述吸收体的所述一个表面;
步骤三:在所述吸收体的另一个表面生长导电材料以形成第二电极和第三电极;以及
步骤四:将电源的正极和负极分别连接至所述第二电极和所述第一电极;
根据本发明的紫外光探测器的制备方法,优选地,还包括:
步骤五:从所述第三电极和所述电源的负极分别引出输出引线。。
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