[发明专利]抗干扰高灵敏度紫外光探测器

权利要求书

1.一种紫外光探测器，包括：

吸收体，所述吸收体的禁带宽度大于3.2eV；

设置在所述吸收体的一个表面的第一电极，所述第一电极采用能够透过紫外光的导电材料，并且所述第一电极覆盖所述吸收体的所述一个表面；

设置在所述吸收体的另一个表面的第二电极和第三电极；以及

电源，所述电源的正极和负极分别连接至所述第二电极和所述第一电极，

还包括：

金属外壳，所述金属外壳具有用于暴露所述第一电极的开口，所述金属外壳与所述第一电极固定电连接，所述电源的负极与所述金属外壳电连接，以及

同轴接头，所述同轴接头的外导体连接至所述金属外壳，所述同轴接头的内导线连接至所述第三电极。

2.根据权利要求1所述的紫外光探测器，还包括散热块，其设置在所述第二电极和所述第三电极的外表面。

3.根据权利要求1或2所述的紫外光探测器，其中，所述吸收体的材料为钛酸锶、钛酸钡、铝酸镧、氧化锌、氧化镁、氧化锆、铌酸镧、铌酸锂、三氧化二铝、钽酸钾、钽酸锂或钛酸镧。

4.根据权利要求1或2所述的紫外光探测器，其中，所述第一电极的材料为石墨烯、铟锡氧化物、钌酸锶或氮化钛。

5.根据权利要求1或2所述的紫外光探测器，其中，所述第二电极为圆环形或方环形电极，所述第三电极为圆形或方形电极，所述第三电极设置在所述第二电极的内侧。

6.根据权利要求1或2所述的紫外光探测器，其中，所述第二电极和所述第三电极构成圆形叉指电极或方形叉指电极。

7.一种紫外光探测器的制备方法，包括如下步骤：

步骤一：制备禁带宽度大于3.2eV的吸收体；

步骤二：在所述吸收体的一个表面生长能够透过紫外光的导电材料以形成第一电极，所述第一电极覆盖所述吸收体的所述一个表面；

步骤三：在所述吸收体的另一个表面生长导电材料以形成第二电极和第三电极；

步骤四：将电源的正极和负极分别连接至所述第二电极和所述第一电极；

还包括：

设置金属外壳，所述金属外壳具有用于暴露所述第一电极的开口，所述金属外壳与所述第一电极固定电连接，所述电源的负极与所述金属外壳电连接；和

设置同轴接头，所述同轴接头的外导体连接至所述金属外壳，所述同轴接头的内导线连接至所述第三电极。

8.根据权利要求7所述的紫外光探测器的制备方法，还包括：

步骤五：从所述第三电极和所述电源的负极分别引出输出引线。