[发明专利]一种具有催化裂解功能的蒸发源在审
| 申请号： | 201910501672.3 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN110172680A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;阿力甫·库提鲁克;李浩 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;C23C16/28 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 催化裂解 导流件 支撑桶 蒸发模块 单原子 坩埚 原料利用率 催化管 加热件 蒸发源 原子团 镀膜技术 封闭开口 降低装置 模块独立 模块设置 模块制备 蒸发原料 整体能耗 高纯度 隔热层 质量差 镀膜 加热 能耗 开口 支撑 | ||
1.一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，包括：蒸发模块和催化裂解模块；其中，
所述蒸发模块包括坩埚、加热件和支撑桶，所述坩埚内盛有待蒸发原料，所述支撑桶支撑所述坩埚和所述加热件，所述支撑桶设置开口；
所述催化裂解模块包括催化管和蒸气导流件，所述催化管安装在所述蒸气导流件上，所述蒸气导流件安装在所述支撑桶上，所述蒸气导流件封闭所述开口。
2.根据权利要求1所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述催化管的材料包括钽、钼、钨、钌、铑、钯、锇、铱、铂、铁、钴、镍和金中的一种或多种。
3.根据权利要求2所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述催化管的壁厚范围为[0.02mm,0.10mm]，长度范围为[10mm,500mm]，外径范围为[1mm,8mm]。
4.根据权利要求3所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述催化管接通正电。
5.根据权利要求4所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述催化裂解模块还包括外管和外管固定件，所述外管固定件安装在所述催化管上，所述外管安装在所述外管固定件上，所述外管设置为所述外管的中心线和所述催化管的中心线在同一直线上的。
6.根据权利要求5所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述外管壁厚和所述催化管壁厚的比值范围为[2.5,8]。
7.根据权利要求6所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述外管的材料为高熔点材料，包括钽、钼和钨中的一种或多种。
8.根据权利要求7所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述催化裂解模块还包括隔热层，所述隔热层设置于所述催化管和所述外管之间，所述隔热层的数量设置为1-15层。
9.根据权利要求8所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述隔热层的材料为高熔点材料，包括钽、钼和钨中的一种或多种。
10.根据权利要求9所述的一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，所述蒸气导流件接地。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
