[发明专利]磁检测装置有效
| 申请号: | 201910480815.7 | 申请日: | 2019-06-04 |
| 公开(公告)号: | CN110579728B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
| 发明(设计)人: | 高野研一;平林启;斋藤祐太 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
| 主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;H01L43/08 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 装置 | ||
1.一种磁检测装置,具备:
第一磁检测元件,具有第一电阻值,所述第一电阻值因施加第一方向的第一磁场而增大且因施加与所述第一方向相反的第二方向的第二磁场而减小;以及
第二磁检测元件,具有第二电阻值,所述第二电阻值因施加所述第一磁场而减小且因施加所述第二磁场而增大,
所述第一磁检测元件和所述第二磁检测元件均包括多个第一磁阻效应膜和多个第二磁阻效应膜,所述多个第一磁阻效应膜具有第一长轴方向,所述第一长轴方向相对于所述第一方向以第一倾斜角度倾斜;所述多个第二磁阻效应膜与所述多个第一磁阻效应膜串联且具有第二长轴方向,所述第二长轴方向相对于所述第一方向以第二倾斜角度倾斜,
所述多个第一磁阻效应膜的所述第一长轴方向的所述第一倾斜角度实质上相等,
所述多个第二磁阻效应膜的所述第二长轴方向的所述第二倾斜角度实质上相等,
所述磁检测装置满足下列条件表达式(1)和条件表达式(2),
0°<θ1<90°……(1)
-90°<θ2<0°……(2)
其中,
θ1:第一长轴方向相对于第一方向的第一倾斜角度;
θ2:第二长轴方向相对于第一方向的第二倾斜角度。
2.根据权利要求1所述的磁检测装置,其中,
满足下列条件表达式(3)和条件表达式(4),
50°<θ1<72°……(3)
-72°<θ2<-50°……(4)。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的磁检测装置,其中,
所述第一磁阻效应膜具有第一磁化固定层,所述第一磁化固定层具有固定在第一固定方向的磁化,所述第一固定方向实质上与所述第一长轴方向正交,
所述第二磁阻效应膜具有第二磁化固定层,所述第二磁化固定层具有固定在第二固定方向的磁化,所述第二固定方向实质上与所述第二长轴方向正交。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的磁检测装置,其中,
所述第一磁检测元件的所述第一磁阻效应膜和所述第二磁阻效应膜具有第一磁化固定层,所述第一磁化固定层具有固定在所述第一方向的第一磁化,
所述第二磁检测元件的所述第一磁阻效应膜和所述第二磁阻效应膜具有第二磁化固定层,所述第二磁化固定层具有固定在所述第二方向的第二磁化。
5.根据权利要求1或权利要求2所述的磁检测装置,其中,
进一步具备第一导体,
所述第一导体能够利用第一信号电流生成所述第一磁场,并且能够利用第二信号电流生成所述第二磁场,所述第一信号电流向与所述第一方向和所述第二方向均正交的第一电流方向流动,所述第二信号电流向与所述第一电流方向相反的第二电流方向流动。
6.根据权利要求1或权利要求2所述的磁检测装置,其中,
进一步具备第二导体,
所述第二导体与所述第一磁检测元件和所述第二磁检测元件的双方保持电气绝缘,并且与所述第一磁检测元件和所述第二磁检测元件的双方对置,
通过向第二导体供给第一反馈电流,能够生成第一反馈磁场,所述第一反馈磁场与所述第一磁场反向且包括赋予所述第一磁检测元件和所述第二磁检测元件双方的分量,
通过向第二导体供给第二反馈电流,能够生成第二反馈磁场,所述第二反馈磁场与所述第二磁场反向且包括赋予所述第一磁检测元件和所述第二磁检测元件双方的分量。
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