[发明专利]感光型可溶性聚酰亚胺树脂组合物及应用其的保护膜在审
申请号: | 201910410106.1 | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN110161801A | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 庄朝钦;谢坤翰 | 申请(专利权)人: | 律胜科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;H05K1/02 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 徐洋洋 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二价有机基团 碱性溶液 式( I ) 可溶 总重 感光型聚酰亚胺 无机粉体 聚酰亚胺树脂组合物 可溶性聚酰亚胺树脂 聚酰亚胺树脂 四价有机基团 树脂组合物 光起始剂 碱性溶剂 氢或甲基 保护膜 感光型 树脂层 烘烤 溶剂 感光 粒径 去除 制程 浸泡 溶解 应用 | ||
1.一种可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于:包括均匀分散于溶剂中的
(a)可溶于碱性溶液的式(I)所示的聚酰亚胺树脂,其占组合物中固体总重的45-65%;
其中,Ar1为四价有机基团;Ar2为二价有机基团;Ar3为二价有机基团;
Ar4为含有基团的二价有机基团,其中R为氢或甲基;
m、n和o各自独立选自10~600中的任一整数;
(b)可溶于碱性溶液的无机粉体,其占组合物中固体总重的25-50%;所述无机粉体的粒径为0.1-10μm;
(c)光起始剂,其占组合物中固体总重的1-10%。
2.根据权利要求1所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于:还包括丙烯酸树脂类光交联剂,其占组合物中固体总重的0-15%。
3.根据权利要求1所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于:还包括热交联剂,其占组合物中固体总重的0-15%;所述热交联剂包括酚类化合物、烷氧甲基胺树脂和环氧树脂中的一种或几种。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于,Ar1为下列基团中的一种:
5.根据权利要求1-3中任一项所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于,Ar2为下列基团:
其中,p为0-20中任一整数。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于,Ar3为下列基团中的一种:
7.根据权利要求1-3中任一项所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于,Ar4为下列基团中的一种:
其中,R*为含有基团的有机基团,其中R为氢或甲基。
8.根据权利要求1-3中任一项所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于:所述溶剂占组合物中固体总质量的60-90%。
9.一种可溶于碱性溶液的保护膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将如权利要求1-3中任一项所述的可溶于碱性溶液的感光型聚酰亚胺树脂组合物涂布于基材上,在90-120℃下表干,曝光后利用碱性溶液进行显影;或在表干后于140-200℃下加热,得到所述可溶于碱性溶液的保护膜。
10.一种权利要求9所述的制备方法所制备的可溶于碱性溶液的保护膜。
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