[发明专利]镀膜机散热系统的清洗装置及清洗方法

说明书

本发明涉及镀膜机散热系统的清洗装置及其清洗方法，其特征在于该装置由进液清洗系统和循环再清洗系统组成，并根据该装置针对不同的镀膜设备提出了具体的清洗方法。本发明的清洗装置，具备流量恒定、流速平稳的特点，采用本装置及提供的清洗方法对镀膜设备进行清洗，控制精度提高，被清洗管道的使用寿命得到有效延长。

技术领域

本发明属于真空镀膜设备领域，特别是一种应用于镀膜机散热系统的清洗装置及其清洗方法。

背景技术

真空镀膜技术是当下应用非常广的膜层制备技术，特别在半导体行业，很多高端产品应用真空镀膜技术制造。不论采用物理气相沉积还是化学气相沉积，真空镀膜设备是决定膜层质量的关键，这些设备对运行保障的条件要求甚高，散热是其高效运行的基础，例如：处于高温高电压下的电子枪需要散热排除温度对磁场的干扰，消除退磁隐患，防止坩埚被击穿；膜厚监测系统需散热确保晶振片处于恒定的低温工作环境，提高膜层监测厚度的准确性；低温泵系统需散热将氦气保持在极低的工作温度，使工作真空处于恒定状态。另外，散热也是工艺稳定运行的保障，尤其对于镀制多种材料的镀膜系统，需散热提高各膜层材料的工艺重复性，将环境温度的影响降到最低。最后，散热也是安全生产的前提，优越的散热性能可减少生产事故，确保人机安全。

在工业生产中，为降低成本，镀膜机散热多采用水冷，部分溶解于水中的气体、微粒等也会随冷却水在散热管道内循环，长时间运行势必会腐蚀、堵塞散热管道。因此，定期清洗散热系统是设备和工艺正常运行的重要保证。

发明内容

基于镀膜机散热系统清洗的必要性，本发明提出一种镀膜机散热系统的清洗装置及其清洗方法。

本发明的镀膜机散热系统的清洗装置，其特征在于该装置由进液清洗系统和循环再清洗系统组成，其中：

所述进液清洗系统，包括相互连通的加压电机和进液主管道，进液主管道上安装若干进液阀门，进液阀门上设置有转换接头，通过转换接头与各清洗管道分支连接；

所述循环再清洗系统，包括相互连通的储液罐和回液主管道，储液罐与加压电机通过循环管道连接，所述循环管道上设置有循环阀门；回液主管道上安装若干回液阀门，回液阀门上设置有转换接头，通过转换接头与各清洗管道分支连接。

为避免交叉污染和清洗安全，所述的储液罐采用可拆卸式设计；储液罐外设置有水浴锅，用于为储液罐加热或降温，隔绝加热源、酸和碱。

所述的进液阀门、回液阀门及循环阀门采用SMC电磁阀。

所述的加压电机、进液阀门、回液阀门及循环阀门与上位机连接，实现智能控制。在工作状态下，上位机设定匹配的清洗参数包括进入加压电机的清洗液温度和压力、各清洗管道分支的流速和清洗时间等，上位机根据设定的清洗参数及智能控制阀的反馈，自动调整各清洗管道分支的清洗状态。

镀膜价格昂贵，系统复杂，清洗本身还得评估清洗过程可能带来的腐蚀和污染，根据不同管道分析其杂质成分，匹配相应的清洗液组合，能在完成清洗的同时，又不让设备清洗后工作状态受到干扰。清洗遵循酸碱平衡的原则，清洗液本身不能成为污染源，所以选择在储液罐中加入纯水→酸→碱→纯水的组合方式，酸、碱选择弱酸、弱碱、中强酸、中强碱或者高度稀释的浓酸浓碱，酸、碱的稀释比、加热温度和用量根据具体的清洗剂和清洗管道而定。