[发明专利]一种利用硅粉与高纯石墨粉合成β-SiC微粉生产工艺在审
申请号: | 201910394515.7 | 申请日: | 2019-05-13 |
公开(公告)号: | CN109987606A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 穆建东 | 申请(专利权)人: | 穆建东 |
主分类号: | C01B32/97 | 分类号: | C01B32/97 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 向志杰 |
地址: | 710000 陕西省西安市长安区*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 生产工艺 氮气 高纯石墨粉 硅粉 硅源 微粉 压力机 合成 高温电阻炉 固体反应 空气置换 生产技术 混合物 硅微粉 石墨粉 压膜法 放入 分选 粉体 排出 压膜 坩埚 定型 加热 | ||
1.一种利用硅粉与高纯石墨粉合成β-SiC微粉生产工艺,其特征在于:包括以下步骤(1)以硅微粉为硅源,以石墨粉为碳源;(2)将硅源与碳源以1:1-1.3的比例混合搅拌;(3)将步骤(2)中得到的混合物用压力机压膜,使混合物体积为没有压膜前的0.6---0.8倍;(4)将步骤(3)中得到的料放入定型的坩埚中,放入高温电阻炉内,关闭炉门,通入氮气将高温电阻炉腔中的空气置换出来;(5)打开电源以2℃/min的速率加热到1450℃--1500℃,持续进行氮气通入,保持高温5h-8h;(6)分选得到成品β-SiC。
2.根据权利要求1所述的利用硅粉与高纯石墨粉合成β-SiC微粉生产工艺,其特征在于:所述硅源为太阳能硅料生产中烟道堆积的烟道硅微粉。
3.根据权利要求2所述的利用硅粉与高纯石墨粉合成β-SiC微粉生产工艺,其特征在于:步骤(2)将硅源与碳源以1:1-1.05的比例混合搅拌。
4.根据权利要求3所述的利用硅粉与高纯石墨粉合成β-SiC微粉生产工艺,其特征在于:步骤(5)打开电源以2℃/min的速率加热到1450℃,持续进行氮气通入,保持高温5h。
5.根据权利要求1至4中任一所述的利用硅粉与高纯石墨粉合成β-SiC微粉生产工艺,其特征在于:步骤(6)中分选包括,首先通过悬浮法将没有反应的石墨粉分离,然后再通过碱洗或者酸洗获得高纯度的β-SiC。
6.根据权利要求5所述的利用硅粉与高纯石墨粉合成β-SiC微粉生产工艺,其特征在于:步骤(4)将步骤(3)中得到的料放入定型的坩埚中,放入高温电阻炉,关闭炉门,通过真空泵抽高温电阻炉腔中的空气,然后通入氮气将高温电阻炉腔中的空气置换出来。
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