[发明专利]一种微纳双模检测加工模块

权利要求书

1.一种微纳双模检测加工模块，其特征在于所述模块包括Z向压电位移台、支架、电容式位移传感器、电容固定座、调节座、锁紧支座、上固定环、PZT激振器、下固定环、测试螺钉、柔性铰链、挡环、固定螺母和探针，其中：

所述电容式位移传感器固定在电容固定座；

所述电容固定座固定在调节座上方；

所述上固定环、PZT激振器、下固定环、测试螺钉、柔性铰链、挡环、固定螺母和探针依次固定在调节座下方；

所述探针通过固定螺母和测试螺钉固定在柔性铰链上；

所述PZT激振器带动柔性铰链及探针处于谐振或受迫运动状态，使得系统在不改变结构条件下于接触、准接触模式间切换；

所述调节座固定在锁紧支座；

所述锁紧支座固定在支架上；

所述支架固定在Z向压电位移台上。

2.根据权利要求1所述的微纳双模检测加工模块，其特征在于所述探针采用Vickers正四棱锥体金刚石针尖。

3.根据权利要求1所述的微纳双模检测加工模块，其特征在于所述柔性铰链为十字交叉柔性铰链或环形内单臂柔性铰链。