[发明专利]表面等离激元效应的在线物质定性检测装置及制作方法在审
| 申请号： | 201910348891.2 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110044871A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 倪海彬;曹瑷琛;成建新;周盈;潘超;葛璐;常建华 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 赵淑芳 |
| 地址： | 211800 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面等离激元 光纤 定性检测装置 环形狭缝 泄露 光谱仪 待检物质 金属薄膜 拉曼光纤 纳米微球 直接固定 光波 环形腔 入射光 示波器 智能化 波段 拉锥 光源 制作 依附 激发 观察 吸收 | ||
1.一种表面等离激元效应的在线物质定性检测装置，其特征在于，包括基片(1)和光纤(6)，所述基片(2)上设置有聚苯乙烯的纳米级微球阵列(2)，所述微球阵列(2)之间填充凝胶(3)，所述微球阵列(2)顶部设有环形狭缝(4)，所述微球阵列(2)顶部和凝胶层的表面均镀有金属薄膜或波导介质，光纤(6)固定在所述微球阵列(2)表面。
2.根据权利要求1所述的表面等离激元效应的在线物质定性检测装置，其特征在于，所述微球阵列(2)的各个微球顶部的横截面为欧姆形。
3.如权利要求1所述的表面等离激元效应的在线物质定性检测装置的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)取SiO2片作为基底，清洗后进行亲水性处理、加热干燥后旋涂PS微球阵列，在PS微球阵列中填充SiO2或者TiO2前驱物溶液形成的凝胶，凝胶填充的高度小于微球直径；
(2)选择性刻蚀微球顶部，形成环形狭缝后，在微球顶部和凝胶层表面镀上一层纳米级金属薄膜或波导介质；
(3)将光纤粘结固定在微球阵列表面，即得检测装置。
4.根据权利要求3所述的表面等离激元效应的在线物质定性检测装置的制作方法，其特征在于，所述步骤(1)中基底分别放入丙酮和乙醇中进行超声清洗，放入浓H2SO4/H2O2的混合溶液中进行亲水处理。
5.根据权利要求3所述的表面等离激元效应的在线物质定性检测装置的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中采用FIB进行刻蚀。
6.根据权利要求3所述的表面等离激元效应的在线物质定性检测装置的制作方法，其特征在于，所述步骤(3)中采用多模光纤。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信息工程大学，未经南京信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910348891.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
