[发明专利]一种石英舟清洗后的处理方法在审
| 申请号： | 201910348035.7 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110061099A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 吴永秋 | 申请（专利权）人： | 江苏格林保尔光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 谢新萍 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英舟 清洗 太阳能电池板 扩散 饱和处理 周期延长 产能 方阻 生产成本 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英舟清洗后的处理方法，其特征在于，所述处理方法具体步骤如下：
1)在石英舟清洗机中加入体积比为4:1：30的HF、HCL和水的混合物；
2)将石英舟放入石英舟清洗机中通入氮气进行鼓泡清洗6h；
3)用氮气吹扫石英舟整体以及卡槽位置，直至没有明显水渍在石英舟上；
4)将吹干后的石英舟放入炉管中通入流量稳定的N2，稳定温度进行清洗后的处理。
2.如权利要求1所述的石英舟清洗后的处理方法，其特征在于，步骤4)所述N2的流量为10000-30000SCCM。
3.如权利要求1所述的石英舟清洗后的处理方法，其特征在于，步骤4)所述处理温度为800-950℃，处理时间为10-30min。
4.如权利要求1所述的石英舟清洗后的处理方法，其特征在于，步骤4)所述N2的流量为25000SCCM。
5.如权利要求1所述的石英舟清洗后的处理方法，其特征在于，步骤4)所述处理温度为900℃，处理时间为20min。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
