[发明专利]用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法

权利要求书

1.用于金属硅冶炉的持续上料机构，包括炉体(1)及设置于炉体(1)内部的石英坩埚(2)，该石英坩埚(2)的内部放置有硅料(3)，且炉体(1)的顶部设置有氩气进管(4)，其特征在于，所述石英坩埚(2)的底部设置有TC2传感器(22)，且炉体(1)的顶部一侧设置有TC1传感器(21)，所述氩气进管(4)的顶部设置有红外传感器GW(41)，且氩气进管(4)的一侧通过连通管设置有绞龙(71)，该绞龙(71)的上方连通设置有推料器(6)；

所述推料器(6)的顶部设置有推转料电机(8)，且推转料电机(8)的输出端键连接有转轴(81)，该转轴(81)的外侧设置有轴套(82)，且转轴(81)的底部设置有推转叶片(83)，所述推料器(6)的顶部一侧开设有吸料口(61)，且推料器(6)的顶部另一侧开设有下人孔(62)。

2.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述推转料电机(8)通过连接器(9)设置于所述推料器(6)的顶部。

3.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述转轴(81)与所述推料器(6)之间设置有机封(84)。

4.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述轴套(82)为氟塑轴套。

5.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述绞龙(71)的一侧设置有绞龙减速电机(7)，且绞龙减速电机(7)的输出端通过联轴器与所述绞龙(71)连接。

6.根据权利要求5所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述绞龙(71)的上表面与所述推料器(6)连通，且绞龙(71)的底部与连通管连通。

7.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述氩气进管(4)的顶部设置有观察口。

8.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述推料器(6)的底部固定设置有支撑脚(5)。

9.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述转轴(81)的两侧均设置有转轴支撑(85)。

10.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：熔化阶段，进入压力模式，压力为200-600mbar、温度200℃-1530℃，结合顶部观察孔及顶部红外传感器GW监控熔化情况，判断硅料是否完全熔化，确认完全熔化后，暂停，边加料边化料结束后手动进入下一步后继续运行配方；

S2：长晶阶段，隔热笼逐渐提升，持续运行，结合功率曲线的变化与观察孔查看情况，判断记录中央长晶透顶，进入边角长晶后，观察功率曲线的变化，必须走平0.5-1h，判断边角长晶结束，否则手动进入暂停或跳下一步；

S3：退火阶段，控制模式从温度模式自动进入功率模式，功率曲线缓慢平稳下降，隔热笼降至最低位置退火后自动跳下一步；

S4：冷却阶段，功率下降至零，隔热笼分步缓慢提升至30mm，温度曲线平稳下降，至450℃以下时，出炉。