[发明专利]检查系统以及检查系统的驱动方法在审
申请号: | 201910341946.7 | 申请日: | 2019-04-25 |
公开(公告)号: | CN110398495A | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | 加集功士 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查系统 射线源部 第二室 第一室 检查对象物 驱动 隔膜卷绕 电磁波 屏蔽 照射 包围 配置 检查 | ||
一种检查系统以及检查系统的驱动方法,效率良好地进行检查对象物的检查。检查系统(1)具备配置有射线源部(2)的第一室(41)以及与第一室(41)分开的被对射线源部(2)照射的电磁波进行屏蔽的壁包围的第二室(42),在第二室(42)中存放有隔膜卷绕体(10)。
技术领域
本发明涉及对检查对象物内有无缺陷进行检查的检查系统以及检查系统的驱动方法。
背景技术
如专利文献1所记载的那样,作为对检查对象物中是否包含缺陷进行检查的检查装置,使用通过向检查对象物照射检查光并对基于该检查光的图像进行解析、从而判断检查对象物中是否包含缺陷的检查装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本国专利公报“专利5673621号公报”
上述检查装置由于使用光,因此为了抑制上述检查光对周围造成的影响或者周围的外光对检查装置造成的影响,检查装置中的射线源部以及传感器部优选设置于利用壁等而与外部空间分隔开的空间内。
在此,若将之后要进行检查的检查对象物、或者检查结束了的检查对象物存放于配置有射线源部以及传感器部的同一室内,则被壁等反射的检查光间接地照射于所存放的检查对象物,成为该存放的检查对象物品质劣化的原因。
然而,若将述检查对象物存放于配置有上述射线源部以及传感器部的室外,则每次在使该检查对象物相对于配置有上述射线源部以及传感器部的室而放入取出时,需要中断检查,即需要停止来自上述射线源部的检查光的照射,成为降低检查效率的原因。
发明内容
发明要解决的课题
本发明的一方式的目的在于,效率良好地进行检查对象物的检查。
用于解决课题的手段
为了解决所述课题,本发明的一实施方式的检查系统具备:射线源部,其照射透过检查对象物的电磁波;传感器部,其对所述射线源部照射且透过所述检查对象物后的所述电磁波进行检测;存放机构,其用于存放所述检查对象物;第一室及第二室,它们分别由对所述电磁波进行屏蔽的壁包围而成;以及第一屏蔽部,其设置为将所述第一室与所述第二室相连且能够开闭,所述射线源部和所述传感器部配置于所述第一室内,所述存放机构配置于所述第二室内。
为了解决所述课题,根据本发明的一实施方式的检查系统的驱动方法,所述检查系统具备:射线源部,其照射透过检查对象物的电磁波;传感器部,其对所述射线源部照射且透过所述检查对象物后的所述电磁波进行检测;存放机构,其用于存放所述检查对象物;第一室及第二室,它们分别由对所述电磁波进行屏蔽的壁包围而成;以及第一屏蔽部,其设置为将所述第一室与所述第二室相连且能够开闭,所述射线源部和所述传感器部配置于所述第一室内,所述存放机构配置于所述第二室内,其中,所述检查系统的驱动方法包括如下步骤:将所述检查对象物配置于照射所述电磁波的所述射线源部与所述传感器部之间;所述传感器部对透过所述检查对象物后的所述电磁波进行检测并输出与检测到的该电磁波相应的电信号;在所述传感器部输出所述电信号之后,将配置于照射所述电磁波的所述射线源部与所述传感器部之间的所述检查对象物向所述第二室搬出;以及将存放于所述第二室的其他检查对象物配置于照射所述电磁波的所述射线源部与所述传感器部之间。
发明效果
根据本发明的一方式,起到效率良好地进行检查对象物的检查的效果。
附图说明
图1是表示实施方式1的分切装置的简要结构的图。
图2是示出实施方式1的隔膜卷绕体的简要结构示意图。
图3是表示实施方式1的检查系统的简要结构的俯视图。
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