[发明专利]一种激光干涉装置

说明书

本发明涉及一种激光干涉装置，包括：激光源，用于发射激光束一，且激光束一入射至分光镜；可随被测物体同步移动的移动反射镜，包括至少两个三角反射镜组二，所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；静止反射镜，包括至少一个三角反射镜组三，所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜，形成干涉光束。通过激光束三在多组三角反射镜组二与三角反射镜组三之间的往复反射，提高了被测物在同位移量下光程变化量，增大了干涉信号变化量，提高了位移放大倍数，从而提高了位移检测精度。

技术领域

本发明涉及测量技术领域，特别涉及一种激光干涉装置。

背景技术

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。但是现有的干涉仪，仍存在位移放大倍数过低，精度相对较低的问题。

发明内容

本发明的目的在于改善现有技术中所存在的的不足，提供一种激光干涉装置。

为了实现上述发明目的，本发明实施例提供了以下技术方案：

一种激光干涉装置，包括：

激光源，用于发射激光束一，且激光束一入射至分光镜；

所述分光镜，用于将所述激光束一分为激光束二与激光束三；

三角反射镜组一，用于接收所述激光束二，并将激光束二反射至分光镜；

可随被测物体同步移动的移动反射镜，包括至少两个三角反射镜组二，所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；

静止反射镜，包括至少一个三角反射镜组三，所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；

每个三角反射镜组三与两个三角反射镜组二对应，所述三角反射镜组三用于接收三角反射镜组二反射的激光束三，并使得激光束三入射至下一个三角反射镜组二；

所述三角反射镜组二，用于接收所述激光束三，并使得激光束三反射至三角反射镜组三或分光镜；

经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜，形成干涉光束，所述干涉光束入射至光电探测器；

处理系统，用于根据光电探测器上的信号变化，计算出被测物体的位移变化值。

通过激光束在多组三角反射镜组二与三角反射镜组三之间的往复反射，提高了被测物在同位移量下光程的变化量，增大了干涉信号的变化量，提高了位移放大倍数，从而提高了位移检测精度。

在进一步的方案中，所述三角反射镜组一包括固定反射镜一与固定反射镜二，所述固定反射镜一与固定反射镜二呈90°夹角相接，所述固定反射镜一将激光束二反射至固定反射镜二，固定反射镜二使得激光束二反射至分光镜；所述三角反射镜组二包括移动反射镜一与移动反射镜二，所述三角反射镜组三包括固定反射镜三与固定反射镜四；所述移动反射镜一与移动反射镜二呈90°夹角相接，所述固定反射镜三与固定反射镜四呈90°夹角相接；所述移动反射镜一，用于接收经分光镜分光后的激光束三，并将激光束三反射至固定反射镜三，或接收固定反射镜四反射的激光束三；所述移动反射镜二，用于接收移动反射镜一反射的激光束三，并使得激光束三反射至下一个三角反射镜组三的固定反射镜三，或反射至分光镜；所述固定反射镜四，用于接收固定反射镜三反射的激光束三，并使得激光束三入射至下一个三角反射镜组二的移动反射镜一。