[发明专利]一种激光干涉装置

权利要求书

1.一种激光干涉装置，其特征在于，包括：

激光源，用于发射激光束一，且激光束一入射至分光镜；

所述分光镜，用于将所述激光束一分为激光束二与激光束三；

三角反射镜组一，用于接收所述激光束二，并将激光束二反射至分光镜；

可随被测物体同步移动的移动反射镜，包括至少两个三角反射镜组二，所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；

静止反射镜，包括至少一个三角反射镜组三，所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；

每个三角反射镜组三与两个三角反射镜组二对应，所述三角反射镜组三用于接收三角反射镜组二反射的激光束三，并使得激光束三入射至下一个三角反射镜组二；

所述三角反射镜组二，用于接收所述激光束三，并使得激光束三反射至三角反射镜组三或分光镜；

经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜，形成干涉光束，所述干涉光束入射至光电探测器；

处理系统，用于根据光电探测器上的信号变化，计算出被测物体的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的激光干涉装置，其特征在于，所述三角反射镜组一包括固定反射镜一与固定反射镜二，所述固定反射镜一与固定反射镜二呈90°夹角相接，所述固定反射镜一将激光束二反射至固定反射镜二，固定反射镜二使得激光束二反射至分光镜；所述三角反射镜组二包括移动反射镜一与移动反射镜二，所述三角反射镜组三包括固定反射镜三与固定反射镜四；所述移动反射镜一与移动反射镜二呈90°夹角相接，所述固定反射镜三与固定反射镜四呈90°夹角相接；所述移动反射镜一，用于接收经分光镜分光后的激光束三，并将激光束三反射至固定反射镜三，或接收固定反射镜四反射的激光束三；所述移动反射镜二，用于接收移动反射镜一反射的激光束三，并使得激光束三反射至下一个三角反射镜组三的固定反射镜三，或反射至分光镜。

3.根据权利要求1所述的激光干涉装置，其特征在于，所述分光镜将激光束二分为激光束四与激光束五，所述分光镜将激光束三分为激光束六与激光束七，所述干涉光束由分光镜中透射出的激光束四与分光镜反射出的激光束六组成。

4.根据权利要求1所述的激光干涉装置，其特征在于，所述分光镜将激光束二分为激光束四与激光束五，所述分光镜将激光束三分为激光束六与激光束七，所述干涉光束由分光镜中反射出的激光束五与分光镜透射出的激光束七组成。

5.根据权利要求1所述的激光干涉装置，其特征在于，还包括用于激光干涉光路调试并协助所述移动反射镜定位的定位件。

6.根据权利要求5所述的激光干涉装置，其特征在于，所述定位件包括定位镜一与定位镜二呈90°夹角，所述定位镜一，用于接收经分光镜分光后的激光束三，并使得激光束三入射至定位镜二；所述定位镜二，用于将激光束三反射至分光镜。

7.根据权利要求6所述的激光干涉装置，其特征在于，所述定位件与移动反射镜设置有相吸引的磁性件。

8.根据权利要求5所述的激光干涉装置，其特征在于，还包括壳体，激光源、固定反射镜一、分光镜、静止反射镜和光电探测器均固定设置于壳体内，组成一个激光头。

9.根据权利要求1所述的激光干涉装置，其特征在于，所述三角反射镜组一接收所述激光束一经分光镜反射后得到的激光束二；所述三角反射镜组二接收所述激光束一经分光镜透射后得到的激光束三。

10.根据权利要求1所述的激光干涉装置，其特征在于，所述三角反射镜组一接收所述激光束一经分光镜透射后得到的激光束二；所述三角反射镜组二接收所述激光束一经分光镜反射后得到的激光束三。