[发明专利]感光性树脂组合物、耐热性树脂膜的制造方法及显示装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，包含(a1)具有酰胺基、三氟甲基和芳香环，且可溶于丙二醇单甲醚乙酸酯的芳香族酰胺树脂；(b)感光剂及(c)溶剂，所述感光性树脂组合物的固态成分浓度为20重量％，25℃时的粘度为1～15cp。

2.一种感光性树脂组合物，包含(a2)具有酰胺基、酰胺酸酯基、三氟甲基和芳香环，且可溶于丙二醇单甲醚乙酸酯的芳香族酰胺树脂；(b)感光剂及(c)溶剂，所述感光性树脂组合物的固态成分浓度为20重量％，25℃时的粘度为1～15cp。

3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(b)感光剂为醌二叠氮化合物。

4.一种耐热性树脂膜的制造方法，包含下述工序：将权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上从而形成感光性树脂膜的工序；将所述感光性树脂膜进行干燥的工序；将干燥过的感光性树脂膜进行曝光的工序；将曝光过的感光性树脂膜进行显影的工序以及将显影过的感光性树脂膜进行加热处理的工序。

5.一种耐热性树脂膜的制造方法，包含下述工序：将权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上从而形成感光性树脂膜的工序；将所述感光性树脂膜进行干燥的工序；将干燥过的感光性树脂膜进行曝光的工序；将曝光过的感光性树脂膜进行显影的工序以及将显影过的感光性树脂膜进行加热处理的工序，

其中，使用输送过除权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物以外的感光性树脂组合物的涂布装置，在不进行所述涂布装置的输送路径内的清洗的情况下，使用所述涂布装置将权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上。

6.如权利要求5所述的耐热性树脂膜的制造方法，其中，所述除权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物以外的感光性树脂组合物，为含有选自乙二醇单乙醚乙酸酯、乙基－3－乙氧基丙酸酯、甲基－3－甲氧基丙酸酯、2－庚酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、环己酮中的至少1种溶剂的感光性树脂组合物。

7.一种显示装置，其包含形成于基板上的第一电极、以使第一电极部分地露出的方式形成于第一电极上的绝缘层、和与第一电极相对设置的第二电极，所述显示装置的特征在于，所述绝缘层为利用权利要求4～6中任一项所述的耐热性树脂膜的制造方法而得到的耐热性树脂膜。

8.一种显示装置，其是具备以覆盖形成有薄膜晶体管(TFT)的基板上的凹凸的状态而设置的平整膜、和设置于平整膜上的显示元件而成，所述显示装置的特征在于，所述平整膜为利用权利要求4～6中任一项所述的耐热性树脂膜的制造方法而得到的耐热性树脂膜。