[发明专利]激光喷丸加工装置以及激光喷丸加工方法

权利要求书

1.一种激光喷丸加工装置，其具有：

激光振荡器，其对激光进行振荡；以及

喷嘴，其将液体朝向激光喷丸加工的对象物喷射，另一方面，使所述激光入射至所述液体，由此将在所述液体中传播的所述激光朝向所述对象物照射，

所述喷嘴具有：

透镜，其以使得所述激光的焦点形成于所述激光喷丸加工的加工位置的方式对所述激光进行汇聚；

筒状的壳体，其对入射至所述液体之前的所述激光进行保护；以及

配管，其配置于所述壳体内，形成所述液体的流路。

2.根据权利要求1所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述喷嘴具有使所述激光的行进方向从朝向所述喷嘴的入射方向变化为铅直下方的棱镜，

在所述激光从所述棱镜的射出侧配置所述配管的出口，由此使得所述激光在所述激光从所述棱镜的射出侧入射至所述液体。

3.根据权利要求1或2所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述激光喷丸加工装置具有：

移动机构，其以使得所述激光照射至所述激光喷丸加工的加工位置的方式使所述对象物移动；以及

液体回收系统，其对从所述喷嘴喷射的所述液体进行回收，

所述液体回收系统具有：

液体承接件，其是以使得开口部朝向所述喷嘴侧对所述对象物进行收容且与所述对象物一起移动的方式固定于所述移动机构的所述液体的液体承接件，设置有用于在所述激光喷丸加工中将所述液体排出的排出口；以及

流路，从所述排出口排出的所述液体在该流路流动，该流路不因所述移动机构而移动。

4.根据权利要求1或2所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述激光振荡器是对脉冲能量超过50mJ的纳秒激光、脉冲能量超过1mJ的皮秒激光或者脉冲能量超过1mJ的飞秒激光进行振荡的振荡器，

所述激光喷丸加工装置具有光传播系统，该光传播系统不利用光纤而将利用所述激光振荡器振荡后的所述激光传播至所述喷嘴。

5.根据权利要求1或2所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述喷嘴被固定为不移动，另一方面，

所述移动机构以能够选择的方式具有如下部件：

机械臂，其用于对所述对象物进行保持而使其移动；以及

驱动机构，其用于将所述对象物载置于可动工作台而使其移动，不具有悬臂构造。

6.根据权利要求5所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述激光喷丸加工装置具有控制装置，该控制装置基于以设置于所述驱动机构的定位用的指标为基础而定位的所述喷嘴的定位信息，对所述机械臂进行控制。

7.根据权利要求1或2所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述激光喷丸加工装置具有：

衰减器，其使入射至所述透镜的所述激光的输出衰减；

光检测器，其对入射至所述透镜的所述激光的输出进行检测；以及

控制装置，其基于利用所述光检测器检测出的所述激光的输出，以使得入射至所述透镜的所述激光的输出处于容许范围内的方式对所述衰减器进行控制。

8.根据权利要求1或2所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述激光喷丸加工装置具有：

测震仪，其对地震进行检测；

无停电电源装置，其作为所述激光振荡器的备用电源而使用；以及

控制装置，其在利用所述测震仪检测出地震的情况下进行使所述激光从所述激光振荡器的振荡停止的控制，另一方面，在停电时使所述无停电电源装置起动，进行利用从所述无停电电源装置供给的电力使所述激光振荡器停止的控制。

9.根据权利要求1或2所述的激光喷丸加工装置，其中，

所述激光喷丸加工装置具有：

纯水器，其利用并非纯水的水而生成纯水；

泵，其对利用所述纯水器生成的所述纯水或者含有所述纯水的水进行压送；以及

流量调整阀，其对利用所述泵压送的所述纯水或者含有所述纯水的水的流量进行调整并作为所述液体而供给至所述喷嘴。