[发明专利]一种硅片切片方法在审
申请号: | 201910303585.7 | 申请日: | 2019-04-16 |
公开(公告)号: | CN109808093A | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 王晨;周炎;杨超 | 申请(专利权)人: | 江苏美科硅能源有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 212200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶棒 切片 硅片 晶锭 线网 夹缝 胶水固化 切割液 切片机 剪去 清洁 粘接 太阳能电池技术 打结 胶水残留 晶棒表面 平板分离 单刀 胶水 线头 存放架 分线网 启动线 出片 放入 挪动 擦拭 剪刀 酒精 靠山 避开 污染 | ||
1.一种硅片切片方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)晶锭清洁:对晶锭表面进行清洁,清洁时依次采用纯水和酒精擦拭;
(2)使用带有靠山面的粘接台将所述晶锭依次通过胶水粘接形成晶棒,并将所述晶棒粘接平板上,粘接晶锭时所述晶锭一面紧靠粘接台的靠山面;所述晶锭间的夹缝小于1mm;
(3)通过平板整体挪动所述晶棒到存放架等待胶水固化;
(4)待胶水固化后将所述晶棒与所述平板分离;
(5)对所述晶棒表面进行清洁,清洁时依次采用纯水和酒精擦拭;
(6)将所述晶棒放入线网切片机,在晶棒下方补线网,使用剪刀剪去所述晶棒的晶锭间夹缝两侧的线网,并将剪去的线网两侧的线头打结;
(7)启动线网切片机,将所述晶棒线网切片。
2.根据权利要求1所述的硅片切片方法,其特征在于:所述步骤(3)中固化时间大于3小时。
3.根据权利要求2所述的硅片切片方法,其特征在于:所述步骤(2)中晶棒中晶锭的数量为3-4块。
4.根据权利要求3所述的硅片切片方法,其特征在于:所述步骤(6)中晶棒下方线网之间的间隔为0.260mm。
5.根据权利要求4所述的硅片切片方法,其特征在于:所述步骤(6)中晶锭间夹缝两侧的线网间距为1-2mm。
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