[发明专利]光路校准方法及校准装置

说明书

本申请公开一种光路校准方法及校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；对所述待测产品进行光路校准。本申请提供一种光路校准方法及校准装置，旨在解决现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。

技术领域

本申请涉及光学测量技术领域，尤其涉及一种光路校准方法及校准装置。

背景技术

在对高精度的光学产品进行光学测量时，通常是采用采集单元拍摄产品的目标图像，并对图像进行计算后得到检测结果，由于光学测量对光学系统的精度要求较高，因此光学系统的光路校准精度是保证光学测量精度的前提。现有的光学系统校准，通常是采用标准样品，对采集单元的光轴中心和标准样品的投影图像中心对准的方式对光路进行校准，但是这种校准方式会受制于标准样品的加工精度影响，当标准样品的加工精度低，无法满足光学测量系统的测量精度要求时，光学系统测量即无法达到要求的测量精度。

发明内容

本申请提供一种光路校准方法及校准装置，旨在解决现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。

为实现上述目的，本申请提出了一种光路校准方法，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：

调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；

当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；

将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；

对所述待测产品进行光路校准。

可选地，所述调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准，包括：

沿所述第一采集单元的信号采集方向调整所述第一探针的位置；

根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准。

可选地，所述根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准，包括：

移动所述第一探针至第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；

调整所述第一采集单元，使所述第一探针的针尖与所述第一采集单元成像显示的第一目标位置重合；

调整所述第一探针至第二校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；其中，所述第二校准位置与所述第一校准位置不重合，并且所述第一校准位置、所述第二校准位置以及所述第一采集单元位于同一直线；

获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置；

当所述第一探针的针尖与第一目标位置重合时，完成所述第一采集单元位置的校准。

可选地，所述获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置，之后还包括：

当所述第一探针的针尖与第一目标位置不重合时，执行所述移动所述第一探针位于第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像的步骤。