[发明专利]光路校准方法及校准装置

权利要求书

1.一种光路校准方法，其特征在于，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：

沿所述第一采集单元的信号采集方向调整所述第一探针的位置；

移动所述第一探针至第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；

调整所述第一采集单元，使所述第一探针的针尖与所述第一采集单元成像显示的第一目标位置重合；

调整所述第一探针至第二校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；其中，所述第二校准位置与所述第一校准位置不重合，并且所述第一校准位置、所述第二校准位置以及所述第一采集单元位于同一直线；

获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置；

当所述第一探针的针尖与所述第一目标位置重合时，完成所述第一采集单元位置的校准；

当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；

将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；

对所述待测产品进行光路校准。

2.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置，之后还包括：

当所述第一探针的针尖与所述第一目标位置不重合时，执行所述移动所述第一探针位于第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像的步骤。

3.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，包括：

当所述第一采集单元校准完成时，将所述第一探针移动至第三校准位置；

移动所述第二探针，使所述第二探针的针尖与所述第一探针的针尖抵接；

根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置。

4.如权利要求3所述的光路校准方法，其特征在于，所述根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：

移除所述第一探针与所述第二探针。

5.如权利要求3所述的光路校准方法，其特征在于，所述固定装置与待测产品固定连接时，所述待测产品的出瞳中心与所述第二探针的针尖位置重合。

6.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，所述采集单元还包括第二采集单元，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信息采集方向相同；所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：

控制所述第一探针，对所述第二采集单元进行校准；

当所述第二采集单元校准完成时，根据所述第一探针，确定所述固定装置的第二测试位置；

将所述固定装置移动至所述第二测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接。

7.一种光路校准装置，其特征在于，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置、探针以及控制器，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，其中，

所述第一探针用于对所述第一采集单元进行校准，并在所述第一采集单元完成校准时，用于确定所述固定装置的所述自由端的第一测试位置；

所述固定装置的所述自由端与待测产品连接，用于调整所述待测产品的位置进行光路校准；

所述控制器与所述第一采集单元、所述固定装置以及所述探针通信连接，并执行权利要求1-6所述的光路校准方法，进行光路校准。

8.如权利要求7所述的光路校准装置，其特征在于，所述采集单元还包括第二采集单元，所述控制器与所述第二采集单元通信连接，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信号采集方向相同。