[发明专利]一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法

权利要求书

1.一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，包含线圈组的调节方法和磁极组的调节方法，其特征在于，结合大束流离子注入机台线圈组、磁极组物理特性及设备硬件条件，针对线圈组和磁极组分别阐述了测试方法，测试过程中先调节线圈组后调节磁极组；

所述线圈组的调节方法包含以下步骤：

1)初始化线圈组和磁极组；

2)采集束流截面流强并求得流强均值J0；

3)单个线圈逐次通过相同电流I，建立电流变化和流强变化ΔJp关系；

4)结合线圈组调节限制，用计算机求解，得到一组电流调节解；

5)将各个线圈调节值输入机台；

6)判断是否达到预期均匀性，若没有则继续重复线圈组调节的3)至5)，若达到则进入磁极组的调节；

所述磁极组的调节方法包含以下步骤：

1)初始化磁极组；

2)采集束流截面流强并求得流强均值J1；

3)每个磁极按顺序依次调节相同距离d，建立磁间距变化和流强变化ΔJr关系；

4)结合磁极组调节限制，用计算机求解，得到一组磁极调节解；

5)将磁极调节值输入机台；

6)判断是否达到预期均匀性，若没有则继续重复磁极组调节的3)至5)，若达到则结束。

2.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：所有采集的流强均以注入束流中心部位束流方向为基准，采集与注入方向垂直的束流截面。

3.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：所述线圈组的调节首先要初始化所有线圈和磁极是指线圈不通电、磁极置于初始位置，采集各采样点与其相应位置的流强并求出此时平均流强J0。

4.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：所述单个线圈逐次通过相同电流的采集方法是指一个线圈通电流的时候其他线圈不通电流的采集一组数据。

5.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：磁极组调节时所述初始化磁极组是指要保持线圈组已经按照求得的最优解通电且磁极组置于初始位置。

6.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：所述每个磁极按顺序依次调节相同距离d的采集方法是第一个磁极调节距离d，其余位置保持不变采集一组数据；第二个磁极测试时保持第一个磁极调节d，第二个磁极移动d，其余位置保持不变测试一组数据；第三个磁极测试时保持前两个磁极调节d，第三个磁极移动d时测试一组数据......以此类推。

7.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：磁极组是成对出现的，每对磁极都包括一个上磁极和一个下磁极，不论上、下磁极组调节均匀性的方法一致。

8.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：线圈组中可以通电线圈个数为7个或9个。

9.根据权利要求1所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：可调节磁极对数为10对、12对或14对。

10.根据权利要求6所述的一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法，其特征是：所述每个磁极按顺序依次调节相同距离d的采集方法中，采集数据过程中，每对磁极需要保证一侧磁极不动，另一侧磁极移动d。