[发明专利]尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器

权利要求书

1.尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，包括柔性基底(1)，所述柔性基底(1)的表面涂覆有氧化石墨烯层(2)；

涂覆有氧化石墨烯层(2)的柔性基底(1)的表面，通过离子溅射的方式，沉积形成有金膜(3)。

2.如权利要求1所述的尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，所述柔性基底(1)的制备包括以下步骤：

第一步：将聚二甲基硅氧烷PDMS作为主剂，与固化剂按照10:1的质量比进行混合，在搅拌脱气后，悬涂在玻璃基片上并进行固化；

第二步：将固化后的聚二甲基硅氧烷PDMS从玻璃基片上剥离，预拉伸预设的长度后，能够在聚二甲基硅氧烷PDMS的表面形成褶皱，然后进行紫外臭氧处理，在聚二甲基硅氧烷PDMS的外表面形成氧化硅SiOx层，其中x≤2。

3.如权利要求2所述的尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，在第二步中，通过调节预拉伸的预设的长度，来对应调节聚二甲基硅氧烷PDMS的表面形成的褶皱的尺度。

4.如权利要求2所述的尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，预设的长度，等于固化后的聚二甲基硅氧烷PDMS的原始长度的两倍。

5.如权利要求2所述的尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，所述固化剂为含氢硅油。

6.如权利要求1所述的尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，所述氧化石墨烯层(2)，通过刮涂的方式，涂覆在所述柔性基底(1)的表面。