[发明专利]一种偏振测量装置在审
申请号: | 201910252002.2 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN109827522A | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 马辉;廖然;戴进才;刘枝迪 | 申请(专利权)人: | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 518055 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏振测量 光束接收单元 散射 偏振 散射光束 测量 准确度 测量效率 偏振数据 一次测量 多维度 入射光 出射 光轴 投射 平行 | ||
本发明实施例公开了一种偏振测量装置,该偏振测量装置具有至少两个光束接收单元,且任意两个光束接收单元的光轴互不平行,以使光束出射单元提供的偏振入射光投射至被测微粒,并由被测微粒散射后,至少两个光束接收单元能够接收至少两束不同散射角度的偏振散射光束。本发明实施例提供的偏振测量装置能够通过一次测量,得到多个散射角度的偏振散射光束,从而获得多维度的测量信息,丰富所测量的偏振数据;同时,本发明实施例的偏振测量装置具有简单的结构、较高的测量效率和准确度、以及较低的成本。
技术领域
本发明实施例涉及偏振测量技术领域,尤其涉及一种偏振测量装置。
背景技术
偏振测量技术是一种能够对微粒进行表征的先进技术,其基本原理是将偏振光投射至微粒,通过测量微粒的偏振散射光、反射光或透射光,以获得偏振光散射、反射或透射后的强度和偏振属性等,以从中提取微粒的微观形态、以及物理化学性质的信息。
现有技术中的偏振测量装置由入射臂和接收臂构成,其中入射臂提供入射的偏振光,接收臂接收散射光、反射光或透射光。入射臂提供的偏振光经微粒散射后,接收臂接收散射光,该散射光携带有微粒的微观结构信息,分析该散射光的强度和偏振属性可获得微粒的微观形态,以及某一方向的物理化学性质的信息。
但是,现有技术的偏振测量装置只能测量微粒的某一角度的偏振散射光束,因此只能检测某一方向的微光形态、以及物理化学性质,而对各向异性的微粒不同方向的信息进行检测时,需要不断调节入射臂和接收臂之间的夹角,操作复杂,不利于微粒形态、以及物理化学性质检测。
发明内容
针对上述存在问题,本发明实施例提供一种偏振测量装置,能够解决现有技术中偏振测量装置对不同方向的偏振散射光束进行测量时,操作复杂,测量效率低的技术问题。
本发明实施例提供了一种偏振测量装置,包括:光束出射单元和至少两个光束接收单元;
所述光束出射单元与所述光束接收单元沿光路依次设置;
所述光束出射单元用于提供偏振入射光束,并投射至被测微粒;
所述光束接收单元用于接收所述偏振入射光束经所述被测微粒散射后的预设角度的偏振散射光束;
其中,任意两个所述光束接收单元的光轴互不平行。
可选的,至少两个所述光束接收单元包括:第一光束接收单元和第二光束接收单元;
所述第一光束接收单元与所述第二光束接收单元关于所述光束出射单元的光轴对称,且所述第一光束接收单元的光轴与所述第二光束接收单元的光轴在所述被测微粒上相交。
可选的,所述第一光束接收单元的光轴与所述第二光束接收单元的光轴之间的夹角θ为120°。
可选的,所述光束接收单元包括接收镜组和检偏器;
所述接收镜组包括相对设置的接收透镜和准直透镜;
所述预设角度的偏振散射光束在所述接收透镜的焦点聚合,并在焦点发散进入所述准直透镜,转换为平行偏振光束;
所述检偏器用于接收所述平行偏振光束,并对所述平行偏振光束的偏振态进行检测。
可选的,所述检偏器包括至少四个偏振检测通道;
至少四个所述偏振检测通道用于将接收的所述平行偏振光束划分为至少四个不同偏振方向的子偏振光束。
可选的,所述光束接收单元还包括光电转换器、信号采集子单元和数据处理器;
所述光电转换器的接收端与所述检偏器的输出端连接;所述光电转换器用于接收至少四个不同偏振方向的所述子偏振光束,并将各所述子偏振光束转换为对应的电信号;
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